MEMS 和微系統(tǒng)的3D 振動測量
實物振動通常是三維振動。誠然,您可選擇優(yōu)先顯示某特定方向的振動,但由于存在產(chǎn)品公差和其它影響,其它空間方向也會產(chǎn)生運動分量。 MSA-100-3D 顯微系統(tǒng)分析可在大帶寬范圍內(nèi)實時測量樣本的動態(tài)特性,高分辨率同時記錄和分析XYZ三個方向的振動分量,每向的振幅分辨率均達到亞皮米級
亮點
- 實時振動測量,高達 25 MHz 的大帶寬
- 用于面外和面內(nèi)振動測量,振幅分辨率達亞皮米級
- 單點式和全場掃描式振動測量
- 激光光斑小于 4光斑,橫向分辨率
- 測試距離大,可達38 mm
- 可與普通 MEMS 探針測試臺兼容
因為在3D 真實的生活中運動
因激光光斑極小,所以橫向分辨率,且?guī)捀哌_ 25 MHz,Polytec的MSA-100-3D 是用于微機電傳感器和致動器 (MEMS) 以及其他微結(jié)構(gòu)的振動測量的理想設(shè)備。通過軟件移動樣品,MSA-100-3D 完成樣品整個表面的振動分析,然后以圖形方式顯示振型。