產(chǎn)品介紹
藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐為采用電阻加熱方式的藍(lán)寶石單晶體生長(zhǎng)設(shè)備,利用泡生法原理可生長(zhǎng)出30-65公斤重的藍(lán)寶石晶體。設(shè)備中用于藍(lán)寶石生長(zhǎng)的真空腔體采用立式結(jié)構(gòu),真空腔體,包括上頂蓋及底板都采用雙層水冷卻結(jié)構(gòu),上頂蓋可開啟。
工作原理
設(shè)備的工作原理是在真空環(huán)境中,通過電阻加熱將三氧化二鋁(AL203)原材料熔化,通過籽品引導(dǎo),用精密上稱重技術(shù)進(jìn)行微量提升法(泡生法)生長(zhǎng)優(yōu)質(zhì)光學(xué)單品的設(shè)備。
設(shè)備組成
設(shè)備主要由真空爐體、稱重傳感器、品體提升和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、熱場(chǎng)系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、自動(dòng)控制系統(tǒng)、真空抽氣機(jī)組、氣路系統(tǒng)、水路系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)等部分組成。
設(shè)備特點(diǎn):
1、采用“分子泵+機(jī)械泵”的真空無油系統(tǒng),節(jié)能隆耗、操作方便、長(zhǎng)品環(huán)境更加潔凈,提高品體質(zhì)量:2、進(jìn)口定制全量程稱重傳感器,具有超高測(cè)量精度,保證品體成品質(zhì)量:3、采用設(shè)計(jì)拉仲機(jī)構(gòu),控制精度高,抗力強(qiáng):4、設(shè)計(jì)的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu),結(jié)合專業(yè)的長(zhǎng)晶工藝,引品、生長(zhǎng)過程易于操作、控制,成晶率高:
技術(shù)參數(shù)
爐內(nèi)真空極限 | ≤9×10-5Pa |
長(zhǎng)晶階段真空度 | ≤5.0×10-4Pa |
熔煉溫度 | 1650℃ |
爐體 | 爐體內(nèi)尺寸(直徑*高):750×1020(±5)m 爐體材料:內(nèi)筒316L.,外筒304L 爐蓋升降行程:上下120mm旋轉(zhuǎn)180 |
籽晶桿
| 材質(zhì):主體為不銹鋼和銅焊接 生長(zhǎng)晶體:允許生長(zhǎng)重量30kg60kg 轉(zhuǎn)速/精度:1-201pm士5% 提拉速度連續(xù)可調(diào)范圍和精度:/0.05-2mm/h土2%FS,電源波動(dòng)小于±5% 快提拉速度 連續(xù)升降可:10-100mm/min 稱重量程精度:0-100kg/±10g |
壓縮空氣 | 壓力:0.70kgf/cm2 流量:2~7/min |
氬氣 | 壓力:6~7kgf/cm2 用量:0.5m3/周期 |
冷卻水 | 入口壓力:2.0±0.5kg/cm2 入,出口壓力:<2kg/cm2 入口水溫:10℃<溫度<20℃ 流量:6m3h |
電控系統(tǒng)電源 | 電壓:380VAC 功率:150KW 頻率:50HZ 相數(shù):3 |
真空配置 | 分子泵、機(jī)械泵、閘板閥、真空管道 |
真空測(cè)量系統(tǒng) | 真空管道真空測(cè)量采用雙控制保險(xiǎn)配置測(cè)量范圍:大氣壓到6×10-7Pa |
自動(dòng)控制系統(tǒng) | PAC全自動(dòng)運(yùn)行程序 |
氣路系統(tǒng) | 四路氬氣進(jìn)路系統(tǒng),爐膛氬氣為兩級(jí)充氣系統(tǒng) |
水冷卻系統(tǒng) | 爐體發(fā)熱部分冷卻系統(tǒng),設(shè)有總進(jìn)總出水管各一路,總進(jìn)水設(shè)有水壓傳感器,主要工作回路設(shè)有水流和水溫傳感器 |
設(shè)備占地面積 (長(zhǎng)×寬×高) | 2240×1130×3020mm3 |