質(zhì)量流量控制器

質(zhì)量流量控制器

D07-23FM 流量計與 D07-23F 型控制器相比，在結(jié)構(gòu)上的不同點就是少了電磁調(diào)節(jié)閥，其它部分基本相同！

質(zhì)量流量計 (Mass Flow Meter 縮寫為 MFM) 用于對氣體的質(zhì)量流量進行測量；質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進行測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合包括: 電子工藝設(shè)備, 如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

D07 系列具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、穩(wěn)定、工作壓力范圍寬等特點(可以在高壓或真空條件下工作), 采用標準接頭, 其操作使用方便, 可任意位置安裝, 并便于與計算機連接實現(xiàn)自動控制。

D07-23F 型質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計均為 24V 單電源供電，一般與我公司 D08-1K型流量顯示儀配套使用

主要技術(shù)指標
 D07-23F 型  性能指標
1  流量規(guī)格  0~20,30,50,100,150,200,250 SLM
2  流量控制范圍  2~100% of F.S.
3  準確度  ±1.5% F.S.
4  線性  ±1% F.S.
5  重復(fù)精度  ±0.2% F.S.
6  響應(yīng)時間  ≤ 3sec
7  工作壓差范圍
20,30 SLM: (0.05~0.30) MPa (7.3~43.5 psid)
50~150 SLM: (0.10~0.30) MPa (14.5~43.5 psid)
200,250 SLM: (0.15~0.30) MPa (21.8~43.5 psid)
8  大工作壓力  1 MPa (145psig)
9  耐壓  3 MPa (435.1 psig)
10  溫度系數(shù)  Zero: ≤ ± 0.1% F.S. /℃; Span: ≤ ± 0.2% F.S. /℃;
11  工作環(huán)境溫度  5℃ ~ 45℃
12  輸入信號  4~20 mA 或 1~5 VDC
13  輸出信號  4~20 mA 或 1~5 VDC
14  電源  24VDC 400 mA
15  外形尺寸  

16  重量  2.6 kg

D07-23FM 型  性能指標
1  流量規(guī)格  0~20,30,50,100,150,200,250 SLM
2  流量控制范圍  2~100% of F.S.
3  準確度  ±1.5 % F.S.
4  線性 ±1 % F.S.
5  重復(fù)精度 ±0.2 % F.S.
6  響應(yīng)時間  ≤3 sec
7 工作壓差范圍
20~100SLM: <0.02 MPa (2.9 psid)
>100SLM: <0.05 MPa (7.3 psid)
8  大工作壓力  1 MPa (145psig)
9  耐壓  3 MPa (435.1 psig)
10  溫度系數(shù)  Zero: ≤ ± 0.1% F.S. /℃; Span: ≤ ± 0.2% F.S. /℃;
11  工作環(huán)境溫度  5 ℃ ~ 45 ℃
12  輸入信號  4~20 mA 或 1~5 VDC
13  輸出信號  4~20 mA 或 1~5 VDC
14  電源  24 VDC 100 mA
15  外形尺寸
16  重量  1.5 kg