Pfeiffer 普發(fā) APR 4300 無菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境
產(chǎn)品規(guī)格:
應(yīng)用:
用于無菌室, 環(huán)境
產(chǎn)品介紹:
APR 4300 可在分子層面上凈化 300 mm 的晶圓以及它們的運輸箱 (FOUP),并在等待時間內(nèi)保護它們。
可靠的凈化處理和預(yù)防污染
APR 是一個在等待時間內(nèi)凈化晶圓并防止污染的系統(tǒng)。空氣分子污染物(簡稱 AMC)降低了半導(dǎo)體生產(chǎn)中的產(chǎn)量和質(zhì)量而 APR 則能有效地防止晶圓和輸送箱表面吸附被污染的有機或無機分子。通過在 APR 室里進行疏散,吸附概率大幅度減少。晶圓廠可通過這種方式顯著地增加產(chǎn)量,且各個工藝步驟之間的等待時間也會得到優(yōu)化。
APR 是如何工作的?
FOUP 既可以手動傳送,也可通過 2 個裝載端口上的懸掛式起重運輸 (OHT) 來傳送。APR 是一個帶有四疊真空室的系統(tǒng),用于對晶圓和 FOUP 作凈化去污處理,這項工作由一個可靠的機器人來擔(dān)任。所有腔室都配備了真空泵站、氣箱、操作面板以及帶電源的控制器。且這些腔室均可以單獨地進行操作。當(dāng)把含有晶圓的 FOUP 裝載到腔室以后,腔室中的壓力減少到 0.1 mbar。然后進行去污凈化處理。之后,該腔室采用潔凈的氮氣進行吹掃并恢復(fù)到大氣壓。此時,這些晶圓以及運輸箱不受污染已超過一天。