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      Pfeiffer 普發(fā) APA 302 無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境

      參考價(jià)面議
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱蘇州震拓自動(dòng)化設(shè)備有限公司
      • 品       牌
      • 型       號(hào)pfeiffer普
      • 所  在  地蘇州市
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時(shí)間2023/7/27 10:31:49
      • 訪問(wèn)次數(shù)270
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      蘇州震拓自動(dòng)化設(shè)備有限公司是一家專業(yè)從事電子自動(dòng)化設(shè)備研發(fā)及清洗解決方案的環(huán)保型技術(shù)企業(yè)。震拓成立于2015年,是一家專門從事濕制程與流體清洗設(shè)備研發(fā)制造的大型設(shè)備公司。針對(duì)汽車,光學(xué)部品、電子以及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)增長(zhǎng)的清洗需求,公司同仁不斷奮進(jìn),已經(jīng)成長(zhǎng)為擁有多項(xiàng)發(fā)明及技術(shù)創(chuàng)新的高科技企業(yè)。

      公司以技術(shù)創(chuàng)新為先導(dǎo),以科學(xué)務(wù)實(shí)為基礎(chǔ),全面推行ISO9001:2008版國(guó)際質(zhì)量管理體系,擁有研發(fā)人員近二十人,富有經(jīng)驗(yàn)的組裝工程師十余人,配有大型CNC設(shè)備及焊接設(shè)備。

      為了更好的拓展華東區(qū)域業(yè)務(wù),集團(tuán)公司決定于2017年成立蘇州震拓自動(dòng)化設(shè)備有限公司,主要負(fù)責(zé)當(dāng)?shù)貐^(qū)域市場(chǎng)的運(yùn)作。并同時(shí)在日本、馬來(lái)西亞、印度,俄羅斯等地有合作銷售和服務(wù)伙伴,承接當(dāng)?shù)劁N售以及售后工作。

      公司不斷引進(jìn)國(guó)內(nèi)外的*和工藝,持續(xù)開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品。公司視產(chǎn)品質(zhì)量、環(huán)保為企業(yè)生命,以“創(chuàng)新環(huán)保”為企業(yè)目標(biāo),秉承“品質(zhì)至上、誠(chéng)信為本、團(tuán)結(jié)合作、奉獻(xiàn)社會(huì)”的企業(yè)精神,提供、、的清洗設(shè)備、清洗劑及清洗工藝解決方案,為整個(gè)電子制造業(yè)的清洗工藝的進(jìn)步與發(fā)展盡微薄之力。公司始終把每一個(gè)客戶視作長(zhǎng)久的合作伙伴與服務(wù)對(duì)象,以優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品,合理的價(jià)格,專業(yè)的售后,為每一位客戶提供的服務(wù)。

      企業(yè)經(jīng)營(yíng)方向:SMT+半導(dǎo)體助焊劑清洗方案,功率半導(dǎo)體封裝設(shè)備(dispenser+die bond+ clip bond +vacuum re-flow);非標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備;焊料、膠水等電子材料,技術(shù)服務(wù)

      測(cè)速儀
      類型:無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)品牌:pfeiffer普發(fā)型號(hào):APA 302描述:普發(fā)污染管理解決方案
      Pfeiffer 普發(fā) APA 302 無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境 產(chǎn)品信息

      Pfeiffer 普發(fā) APA 302 無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境


      普發(fā) APA 302 無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境.jpg


      產(chǎn)品規(guī)格:

      • 應(yīng)用:

        用于無(wú)菌室, 環(huán)境

      產(chǎn)品介紹:

      在潔凈室環(huán)境下,APA 302 是用于芯片制造的在線監(jiān)測(cè)工具。這臺(tái)革新性設(shè)備可以測(cè)量 FOUP 和周圍環(huán)境中的空氣分子污染物(簡(jiǎn)稱 AMC)。該測(cè)量實(shí)時(shí)發(fā)生,在 ppbv 范圍內(nèi)具有很高的靈敏度。

      有效的污染監(jiān)測(cè)
      水分和空氣分子污染物 (AMC),例如,氟化氫 (HF),于等待時(shí)間內(nèi),在 FOUP 槽對(duì)槽的空間里被釋放出來(lái)。而這些元素會(huì)在圖樣晶圓上生成晶體生長(zhǎng),從而導(dǎo)致產(chǎn)量的損失和性能的退化。普發(fā)真空的 APA 302 通過(guò) FOUP 過(guò)濾器來(lái)對(duì) AMC 進(jìn)行采樣。在 ppb 的范圍內(nèi),通過(guò)離子遷移光譜儀、火焰離子化檢測(cè)、熒光紫外線或光腔衰蕩光譜技術(shù),測(cè)量在 2 分鐘內(nèi)發(fā)生,具有高靈敏度。而當(dāng)負(fù)載端口上沒(méi)有 FOUP 時(shí),APA 302 會(huì)監(jiān)控周圍的潔凈室環(huán)境。

      FOUP 環(huán)境的可靠分析
      為了保證性能,SEMI S2/S8 兼容的 APA 302 配備了自動(dòng)校準(zhǔn)功能,它會(huì)在定期的時(shí)間間隔內(nèi)被激活。對(duì)于在 APA 中對(duì) AMC 的監(jiān)控,可在有晶圓或無(wú)晶圓的 POD 中執(zhí)行。FOUP 可以手動(dòng)傳送,也可通過(guò) 2 個(gè)負(fù)載端口上的懸掛式起重運(yùn)輸 (OHT) 來(lái)傳送。因此,可優(yōu)化各工藝步驟間的等待時(shí)間,污染的增加量能立刻被察覺(jué)到,且產(chǎn)量增加。


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