- 產(chǎn)品詳細介紹
- 詳細參數(shù)
項次 | 內(nèi)容 | 規(guī)格 |
1 | 電源 | AC380V 3φ 50HZ 30KVA |
2 | 機臺外尺寸 | W1672*L2807*H1693+100mm |
3 | 有效曝光面積 | L610mm*W915mm(18"*24"2片) |
4 | 曝光臺面 | MYLAR VS 玻璃*2組,採電磁鎖控制 |
5 | 燈管 | 8KW*2PCS(金屬鹵素燈) |
6 | 曝光均勻度 | 85%以上 |
7 | 冷卻系統(tǒng) | 燈管:循環(huán)間接水冷式(水套式) |
臺面:強制氣冷式 | ||
8 | 曝光控制器 | 智慧型人機介面及曝光能量控制 |
9 | 真空系統(tǒng) | -700mm/Hg以上 |
10 | 客戶提供使用環(huán)境及周邊設備 | (1).室溫20℃±5℃,濕度55%±5%之清潔環(huán)境 |
(2).冷卻水塔:10噸、流量120L/min、進水溫度30℃(依現(xiàn)場配管計算)或冰水系統(tǒng):5噸、流量50L/min、進水溫度7℃~15℃(依現(xiàn)場配管計算)進出水管徑1-1/4"、排水管徑3/4" | ||
(3).內(nèi)部循環(huán)水:蒸餾水60L | ||
(4).外接氣源:5Kgf/cm²潔凈干燥空氣流量(40~80L/min)管徑1/4"PT快速接頭 | ||
11 | 特點 | (1).LCD智慧型中(英)文能量強度顯示,高頻率取樣控制系統(tǒng) |
(2).曝光臺面採電磁鎖控制方式,方便精準。 | ||
(3).上、下框/燈,均可獨立能量設定。 | ||
(4).中(英)文版故障異常檢知顯示系統(tǒng),方便操作使用。 | ||
(5).可控制進水量大小,避免冬夏季及使用冰水機產(chǎn)生問題 | ||
(6).採6HP渦捲式壓縮機,節(jié)省能源功率大 |