- 產(chǎn)品詳細介紹
- 詳細參數(shù)
項次 | 內(nèi)容 | 規(guī)格 |
1 | 電源 | AC380V 3φ 50HZ 11KVA |
2 | 機臺外尺寸 | W1340*L2100*H1800mm |
3 | 有效曝光面積 | 610mm*740mm |
4 | 曝光臺面 | MYLAR VS玻璃 × 2組,采電磁鎖控制 |
5 | 燈管 | 5KW × 2PCS(高壓水銀燈) |
6 | 曝光均勻度 | 80%以上 |
7 | 燈管冷卻系統(tǒng) | 循環(huán)直接水冷式 (水套式) |
8 | 臺面冷卻方式 | 強制氣冷式 |
9 | 使用環(huán)境條件 | 室溫 25℃±3℃,濕度 55%±5%之清潔環(huán)境 |
10 | 曝光控制器 | 智能型人機接口式,曝光能量控制系統(tǒng) |
11 | 客戶提供外圍配合 設(shè)備 | (1). 3 噸冷卻水塔,循環(huán)水管出入口管徑 3/4"配管 |
(2). 11KVA電力系統(tǒng),NFB規(guī)格為 1φ 75A | ||
(3). 蒸餾水 60L | ||
12 | 特點 | (1). LCD智能型中(英)文能量強度顯示,高頻率取樣控制系統(tǒng) |
(2). 曝光臺面采電磁鎖控制方式。方便精準。 | ||
(3). 上、下框/燈,均可獨立能量設(shè)定。 | ||
(4). 中(英)文版故障異常檢知顯示系統(tǒng),方便操作使用。 | ||
13 | 配備 | 入水口加裝1只溫控器及電磁閥 |