①NKG高精流量閥
(NKG APV601N)
②藥液量精度±0.1ml.
③噴完后有回吸供能控制.
④顯影液具備加熱保溫裝置,保持藥液所需溫度.
⑤供酸 (接口規(guī)格配合客戶規(guī)格提供) 送藥至20L壓力桶*2座
⑥EMO緊急安全裝置
+三色蜂鳴警燈
+藥液防漏盤(pán)及防漏感應(yīng)SENSOR.
+安全防護(hù)標(biāo)示
全自動(dòng)晶圓顯影機(jī)適用*封裝制程涂布顯影,專業(yè)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)噴涂均勻,快速。