外觀材質(zhì): | PP 板組合焊接而成,耐酸堿侵蝕。 |
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操作盆罩: | SUS制,圓盆型設(shè)計(jì)。 |
適用尺寸: | 2"-12" |
盆罩掀蓋: | 分離式透明 PVC 上蓋。 |
吸盤規(guī)格: | 一組鋁制吸盤精密研模陽極保護(hù)。 |
操作方式: | 手動(dòng)直接輸入。 |
入料方式: | 手動(dòng)放片、自動(dòng)供藥 |
液體種類: | 顯影劑、溶劑。 |
馬達(dá): | AC Servo Motor(轉(zhuǎn)速:10~6000 RPM)。 含真空幫浦 (附 PP 防塵外罩)。 |
真空滲液保護(hù): | 有,間接式防護(hù)設(shè)計(jì)。 |
真空簡(jiǎn)檢知: | 有(可數(shù)字設(shè)計(jì)真空值 kpa 下限保護(hù))。 |
保護(hù)裝置: | 有。 |
保護(hù)制御: | 有一本裝置的全部狀態(tài),異常檢出 |
適用于研發(fā)單位與小量生產(chǎn),以成本產(chǎn)生效益。