
性能優(yōu)勢:
下照式設(shè)計:可以快速方便地定位對焦樣品。
無損變焦檢測:可對各種異形凹槽進(jìn)行無損檢測,凹槽深度范圍0-90mm。
微聚焦射線裝置:可檢測面積小于0.002mm2的樣品,可測試各微小的部件。
高效率的接收器:即使測試0.01mm2以下的樣品,幾秒鐘也能達(dá)到穩(wěn)定性。
EFP*算法軟件:多層多元素,甚至有同種元素在不同層也難不倒EFP算法軟件。
儀器規(guī)格:
外形尺寸 :550 mm x 660mm x 470 mm (長x寬x高)
樣品倉尺寸 :500mm×660 mm ×215mm (長x寬x高)
儀器重量 :55kg
供電電源 :交流220±5V
功率 :330W
環(huán)境溫度:15℃-30℃
環(huán)境相對濕度:<70%