
好處
1,測量范圍從 1.3 × 10-9至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9至 5 × 10-2Torr)
2,雙標準長使用壽命氧化釔銥絲
3,一體式主動測量儀,內置顯示器、設定點、模擬輸出和標準集成式 RS485 數(shù)字接口
4,帶鍵盤的明亮的數(shù)字 OLED 顯示屏,簡化設置、操作和編程
5,用戶可編程的設定點繼電器
6,用戶可編程的顯示器單位:mbar、Torr 或 Pa
7,用戶可選的發(fā)射電流自動設換范圍
8,機械強度和堅固性
9,各種法蘭的選擇
10,易于更換的傳感元件
11,合規(guī)和標準:CE、RoHS
12,直接取代 Granville-Phillips®354 Micro-Ion®模塊 – 包括軟件命令在內的相同控制功能 (RS485)(Granville-Phillips®和 Micro-Ion®是 MKS Instruments, Andover, MA 的注冊商標)
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1,對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
2,工業(yè)鍍膜
3,低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制