ZB-1薄膜規(guī)熱偶規(guī)復(fù)合真空測量儀在ZO-2熱偶真空測量儀基礎(chǔ)上增加了一路薄膜規(guī)管,用于測量104~0.1Pa之間的真空度。本儀器可同時(shí)測量兩路真空度,其中真空室1由熱偶規(guī)管1和薄膜規(guī)管分段復(fù)合測量。
1 . 主要技術(shù)指標(biāo):
1.1 測量范圍: 104~0.1Pa
104~100Pa ±10%(薄膜規(guī)管)
200~1Pa ±20%(熱偶規(guī)管)
1~0.1Pa ±50%(熱偶規(guī)管)
1.2 配用規(guī)管: ZJ-54D 熱偶規(guī)管
薄膜規(guī)管
1.3 模擬電流輸出: 按用戶需求配置
1.4 繼電器觸點(diǎn)容量: 按用戶需求配置
1.5 電源電壓: 交流220V 50Hz
1.6 使用環(huán)境: 5~30℃ 濕度:<80%
1.7 外形尺寸: 196(w)X120(h)X280(l)mm3
開孔尺寸: 200(w)X120(h)mm2
面板螺釘固定孔距: 200(w)X136(h) 四孔