多功能水泵熱循環(huán)壓力傳感器特點:
1.壓力傳感器適合制作小量程的傳感器
這種硅芯片的力敏電阻器的壓阻效應在零點附近的低范圍部分沒有死區(qū),并且壓力傳感器的范圍可以小到幾Kpa。
2.高輸出靈敏度
硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變計高50~100倍,故相應的傳感器的靈敏度就很高,一般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求,使用比較方便。
3.壓力傳感器精度高
因為傳感器的感知,敏感的轉換和檢測是由同一組件實現的,所以沒有中間轉換鏈接,并且重復性和滯后誤差很小。由于單晶硅的高剛性,其變形非常小,確保了良好的線性。
4.由于工作單性形變低至微應變數量級,彈性芯片很大的位移在亞微米數量級,因而無磨損,無疲勞,無老化,壽命長達1×103壓力循環(huán),性能穩(wěn)定,可靠性高。
5.由于硅的優(yōu)良化學防腐性能,即使是非隔離型的擴散硅壓力傳感器,也有相當程度的適應各種介質的能力。
6.壓力傳感器由于芯片采用集成工藝,又無傳動部件,因此體積小,重量輕。