熱循環(huán)小型壓力傳感器特點(diǎn)：

　　1.壓力傳感器適合制作小量程的傳感器

　　這種硅芯片的力敏電阻器的壓阻效應(yīng)在零點(diǎn)附近的低范圍部分沒有死區(qū)，并且壓力傳感器的范圍可以小到幾Kpa。

　　2.高輸出靈敏度

　　硅應(yīng)變電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變計(jì)高50～100倍，故相應(yīng)的傳感器的靈敏度就很高，一般量程輸出為100mv左右。因此對(duì)接口電路無(wú)特殊要求，使用比較方便。

　　3.壓力傳感器精度高

　　因?yàn)閭鞲衅鞯母兄?，敏感的轉(zhuǎn)換和檢測(cè)是由同一組件實(shí)現(xiàn)的，所以沒有中間轉(zhuǎn)換鏈接，并且重復(fù)性和滯后誤差很小。由于單晶硅的高剛性，其變形非常小，確保了良好的線性。

　　4.由于工作單性形變低至微應(yīng)變數(shù)量級(jí)，彈性芯片很大的位移在亞微米數(shù)量級(jí)，因而無(wú)磨損，無(wú)疲勞，無(wú)老化，壽命長(zhǎng)達(dá)1×103壓力循環(huán)，性能穩(wěn)定，可靠性高。

　　5.由于硅的優(yōu)良化學(xué)防腐性能，即使是非隔離型的擴(kuò)散硅壓力傳感器，也有相當(dāng)程度的適應(yīng)各種介質(zhì)的能力。

　　6.壓力傳感器由于芯片采用集成工藝，又無(wú)傳動(dòng)部件，因此體積小，重量輕。

熱循環(huán)小型壓力傳感器產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與外形尺寸：