雙腕玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人
負(fù)載：95KG
動(dòng)態(tài)范圍：2300mm
控制柜：DX100
用途：搬運(yùn)、潔凈室

特點(diǎn)

l 大動(dòng)作范圍：搬運(yùn)尺寸達(dá)730*920mm雙腕玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人。

l 手臂采用連桿機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)高鋼性。

l 采用真空內(nèi)傳送帶驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)低放出氣體性能。

l 手臂可內(nèi)置基板傳感器用配線。

*1：動(dòng)作節(jié)拍不保證帶有基板時(shí)搬運(yùn)速度。由于抓手的形狀及抓手的安裝部分的鋼性產(chǎn)生共振時(shí)，會(huì)影響動(dòng)作節(jié)拍，請(qǐng)重新設(shè)定。
*2：依據(jù)JIS B8432標(biāo)準(zhǔn)的動(dòng)作重復(fù)定位精度。但有無工件時(shí)負(fù)載變動(dòng)以及使用速度的差異、溫度變化的影響不考慮在內(nèi)。