潔凈室搬運機器人
負載:165KG
動態(tài)范圍:2650mm
控制柜:DX100
用途:搬運、半導體、潔凈室
特點
l 大負載:165KG
l 大動作范圍:水平伸長達2650mm,動作高度達3130mm。
l 潔凈度達到ISO6級,可實現(xiàn)高度柔性的系統(tǒng)布局。
*1:依據(jù)JIS B8432標準
*2:潔凈度依據(jù)ISO-14644標準。在0.4m/s以上的向下流風速環(huán)境下,來確保整個潔凈室的潔凈度。
*3:根據(jù)用途、作業(yè)形式會有所不同。