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      CIS系列封閉離子源式質(zhì)譜儀

      參考價(jià)面議
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱北京埃光科技有限公司
      • 品       牌
      • 型       號(hào)
      • 所  在  地北京市
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時(shí)間2023/2/24 8:38:54
      • 訪問次數(shù)484
      產(chǎn)品標(biāo)簽:

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      聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是 智能制造網(wǎng) 上看到的信息,謝謝!

      北京埃光科技有限公司,簡(jiǎn)稱“埃光科技”是一家專注于精密光電產(chǎn)品及服務(wù)的系統(tǒng)集成公司,創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)有十多年的光電行業(yè)經(jīng)驗(yàn),對(duì)光電儀器上下游都有很深的理解。我們不僅經(jīng)營(yíng)sCMOS,CCD,EMCCD,ICCD,高速相機(jī),紅外相機(jī),MCP探測(cè)器,光柵光譜儀,真空紫外-軟x射線光譜儀等多種光電產(chǎn)品,還和各個(gè)環(huán)節(jié)的供應(yīng)商密切合作,根據(jù)客戶應(yīng)用需求開發(fā)完整的解決方案,光電儀器是高度專業(yè)化碎片化的行業(yè),我們將以客戶應(yīng)用為支點(diǎn),串聯(lián)起行業(yè)上下游持續(xù)開發(fā)更完善更專業(yè)的解決方案,協(xié)同高效發(fā)展以滿足高精尖光電研究分析儀器需求的增長(zhǎng)。
      ·100,200和300amu系統(tǒng)·1 ppm的檢測(cè)·10mTorr工作壓力·1×10-12Torr檢測(cè)極限·RGA的Windows軟件·可現(xiàn)場(chǎng)更換的電子倍增器和長(zhǎng)絲·RGA和CIS模式
      CIS系列封閉離子源式質(zhì)譜儀 產(chǎn)品信息
      商品描述

      ·100,200和300amu系統(tǒng)

      ·1 ppm的檢測(cè)

      ·10mTorr工作壓力

      ·1×10-12Torr檢測(cè)極限

      ·RGA的Windows軟件

      ·可現(xiàn)場(chǎng)更換的電子倍增器和長(zhǎng)絲

      ·RGA和CIS模式



      CIS 系列封閉式離子源分析儀

      憑借優(yōu)于 1 ppm 的檢測(cè)限、在 mTorr 壓力下直接采樣以及用戶友好的 Windows 軟件包,CIS 系統(tǒng)將滿足您的應(yīng)用。在線過程監(jiān)測(cè)和控制、在使用點(diǎn)驗(yàn)證過程氣體純度、高真空殘余氣體分析和過程設(shè)備泄漏檢查是這些系統(tǒng)的一些領(lǐng)域。

      緊湊型設(shè)計(jì)

      鍍金離子發(fā)生器

      該探頭由一個(gè)四極質(zhì)譜儀和一個(gè)安裝在 2.75" Conflat ®  Tee 內(nèi)的 CIS 離子發(fā)生器組成??刂茊卧苯影惭b在探頭的饋通法蘭上,并包含操作儀器所需的所有電子設(shè)備。CIS 接頭的側(cè)端口提供用于將四極桿、燈絲和檢測(cè)器保持在高真空狀態(tài)的差動(dòng)泵系統(tǒng)連接。該系統(tǒng)可以通過其標(biāo)準(zhǔn) CIS 安裝法蘭 (2.75" CF) 直接連接到處理室。該裝置是自對(duì)準(zhǔn)的,具有簡(jiǎn)單、堅(jiān)固的設(shè)計(jì)。您可以清潔和重新組裝探頭,并在現(xiàn)場(chǎng)更換燈絲和電子倍增器,而無需致電工廠。

      鍍金離子發(fā)生器

      整個(gè)離子發(fā)生器由鍍金不銹鋼制成。這減少了電離區(qū)域中的除氣和背景信號(hào),提高了長(zhǎng)期穩(wěn)定性,并允許在暴露于反應(yīng)性和腐蝕性氣體時(shí)進(jìn)行操作。使用鎢絲,可抵抗 WF 6和硅烷等腐蝕性和反應(yīng)性氣體,并延長(zhǎng)使用壽命。電離器的封閉(氣密)設(shè)計(jì)可防止常見的干擾物質(zhì)回流到電離體積中。這會(huì)產(chǎn)生沒有光譜重疊的峰。

      探測(cè)器的選擇

      CIS 系列分析儀標(biāo)配法拉第杯檢測(cè)器(10 ppm 檢測(cè))和連續(xù)打拿極電子倍增器(1 ppm 檢測(cè))。該軟件允許您在檢測(cè)器之間輕松切換。

      電子倍增器

      多功能性

      CIS 系統(tǒng)也可以用于所謂的“RGA 模式”。在這種模式下,裝置具有較低的最小可檢測(cè)分壓,但也具有較低的工作壓力。例如,RGA 模式用于濺射工藝的階段,此時(shí)腔室被抽空至低壓,并檢查真空質(zhì)量是否存在泄漏和有害污染物。然后可以將裝置切換到 CIS 模式,以便在較高壓力下直接采樣。

      可編程性

      提供標(biāo)準(zhǔn) RS-232 接口以及完整的編程參考。可以控制和監(jiān)控所有探頭參數(shù),并且可以獲取數(shù)據(jù)以用于自定義應(yīng)用程序。

      視窗軟件

      模擬模式

      CIS 系統(tǒng)由在 PC 上運(yùn)行的實(shí)時(shí) Windows 軟件包提供支持。直觀的圖形用戶界面允許快速輕松地進(jìn)行測(cè)量。該程序是交互式的,使用戶可以控制圖形顯示。可拆分屏幕進(jìn)行雙模式操作,刻度可設(shè)置為線性或?qū)?shù)格式,數(shù)據(jù)可手動(dòng)或自動(dòng)縮放。實(shí)時(shí)捕獲和顯示數(shù)據(jù),或按給定時(shí)間間隔計(jì)劃采集數(shù)據(jù),以進(jìn)行長(zhǎng)期數(shù)據(jù)記錄。功能包括用戶可選擇的單位(ppm、Torr、mbar、Pa 和 A)、可編程的音頻和視頻警報(bào)以及全面的在線幫助。該軟件允許通過簡(jiǎn)單的質(zhì)量標(biāo)度調(diào)整、靈敏度校準(zhǔn)、離子發(fā)生器設(shè)置和電子倍增器增益調(diào)整實(shí)現(xiàn)完整的 CIS 磁頭控制。為了進(jìn)一步分析,數(shù)據(jù)文件可以以 ASCII 格式保存,以便于傳輸?shù)诫娮颖砀裰小?/span>圖形圖像可以保存為 META 文件或復(fù)制到剪貼板以導(dǎo)入其他 Windows 程序。該軟件還為鎖定頭部參數(shù)提供密碼保護(hù),使臨時(shí)用戶無法更改重要設(shè)置。

      可選的獨(dú)立監(jiān)視器 ( PPM100 ) 可用于在沒有主機(jī)的情況下控制 RGA。

      壓力與時(shí)間

      多頭操作

      當(dāng)需要多個(gè) CIS 時(shí),該軟件支持多頭操作。該軟件最多可監(jiān)控 8 個(gè) ECU。

      泵送要求

      CIS 儀器需要連接到有效抽速至少為 40 L/s 且基礎(chǔ)壓力低于10 -9  Torr的抽吸系統(tǒng)。連接端口是一個(gè) 2.75" Conflat ® 法蘭。選項(xiàng) O100TDP 提供一個(gè)渦輪泵,它與隔膜低真空泵一起直接安裝到 CIS 頭上。訂購此選項(xiàng)時(shí),整個(gè)分析儀都在工廠組裝、測(cè)試和校準(zhǔn)。用戶可以提供自己的泵站;但是,用戶有責(zé)任確保泵系統(tǒng)不會(huì)損壞或限制儀器的性能。

      經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的性能

      圖書館模式

      SRS CIS 系統(tǒng)以競(jìng)爭(zhēng)模型的一小部分成本提供的性能。標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)包括法拉第杯探測(cè)器、電子倍增器探測(cè)器和 Windows 軟件。選項(xiàng)包括用于交流線路操作的內(nèi)置電源模塊,以及包括渦輪分子泵和隔膜泵的泵送套件。




      獨(dú)聯(lián)體尺寸圖





      獨(dú)聯(lián)體參數(shù)范圍獨(dú)聯(lián)體模式RGA模式
      電子發(fā)射電流 (mA)0到10.050.5
      電子能量 (eV)25 至 10570 或 3570
      離子能量 (eV)4 或 84 或 84 或 8
      提取電壓 (V)0 到 -150-50(典型值)-50(典型值)
      靈敏度 (A/Torr)
      (對(duì)于 N 2 @28 amu)

      10 -610 -5
      線性范圍上限 (Torr)
      2×10 -310 -4
      MDPP (托)
      10 -810 -9

      筆記


      1. CIS 測(cè)試使用 70 L/s 混合渦輪分子泵進(jìn)行,由隔膜泵支持,連接到 CIS Cover Tee 的側(cè)端口。2. 報(bào)告的 RGA 模式靈敏度是針對(duì)低于 10 -5  Torr的 N 2
      計(jì)算得出的。 3. CIS 模式靈敏度是針對(duì) N 2在 1 至 5 × 10 -4  Torr 下計(jì)算的。4. MDPP(最小可檢測(cè)分壓)通過在 10 -5(RGA 模式)和 10 -3存在28 N 2 的情況下測(cè)量法拉第杯檢測(cè)的基線水平來確定

       托(CIS 模式)。當(dāng)電子倍增器打開時(shí),可檢測(cè)性可提高多達(dá) 3 個(gè)數(shù)量級(jí)。



      CIS 系列規(guī)格

      操作

      質(zhì)量范圍
           CIS1001 到 100 amu
           CIS2001 到 200 amu
           CIS3001 至 300 amu
      質(zhì)量過濾器類型四極桿
      探測(cè)器類型法拉第杯和電子倍增器
      解決優(yōu)于 0.5 amu @ 10 % 峰高(根據(jù) AVS 標(biāo)準(zhǔn) 2.3)在整個(gè)質(zhì)量范圍內(nèi)可調(diào)至恒定峰寬。
      限度。工作溫度70℃
      烘烤溫度300 °C(不帶 ECU)

      離子發(fā)生器

      設(shè)計(jì)封閉離子源,圓柱對(duì)稱,電子碰撞電離
      材料鍍金 SS304
      燈絲鎢或 ThO 2 /Ir 帶固件保護(hù)(現(xiàn)場(chǎng)可更換)
      電子能量 25 至 105 eV,可編程
      離子能量4 或 8 eV,可編程
      聚焦電壓0 至 150 V,可編程
      電子發(fā)射電流0 至 1 mA,可編程

      一般的

      探頭安裝法蘭2.75" CF
      ECU尺寸4.1" × 3.1" × 9.1" (WHL)。可輕松與探頭分離以進(jìn)行烘烤。
      LED指示燈電源開/關(guān)、燈絲開/關(guān)、電子倍增器開/關(guān)、RS-232忙、錯(cuò)誤、過壓、燈絲燒毀
      熱身時(shí)間3 分鐘后峰高 ±2 %。30 分鐘后質(zhì)量穩(wěn)定性 ±0.1 amu。
      電腦接口RS-232C,28,800 波特,帶高級(jí)命令集
      軟件基于 Windows 的應(yīng)用程序
      電力需求24 VDC @ 2.5 安培。公頭 DB9 連接器,可選內(nèi)置電源模塊,用于交流線路操作
      重量6 磅。
      保修單一年零件和人工材料和工藝缺陷


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