A530 描述
A530 移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀(Helium Mass Spectrometer Leak Detector),是一款大抽速(前級(jí)泵抽速30 m3/h),低維護(hù)、高靈敏度、操作便捷的干泵檢漏儀。A530 氦質(zhì)譜檢漏儀輕松檢漏,使您放心得到快速準(zhǔn)確可靠的測(cè)試結(jié)果。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于科研院所、航空航天、半導(dǎo)體、半導(dǎo)體氣柜,光伏等行業(yè)。
功能特點(diǎn)
大抽速前級(jí)泵,工作效率高
支持正壓檢漏,負(fù)壓檢漏
優(yōu)化設(shè)計(jì)的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)
自動(dòng)跟蹤本底功能,提供快速可靠的測(cè)量結(jié)果
高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確??焖偾搴?/span>
機(jī)器的性能支持7*24 小時(shí)長(zhǎng)時(shí)間在線測(cè)試
雙銥絲離子源,系統(tǒng)設(shè)計(jì)有效的防大氣沖擊功能
配有檢漏口精細(xì)過濾器,過濾細(xì)微雜質(zhì),確保機(jī)器不受雜質(zhì)影響和損傷
支持氮?dú)馄瓶?,不受環(huán)境氦氣干擾,快速降低本底有可便捷更換過濾器
技術(shù)參數(shù)
最小可檢漏率(負(fù)壓模式) 5×10-13Pa?m3/s
最小可檢漏率(正壓模式) 5×10-9Pa?m3/s
檢漏口壓強(qiáng) 粗檢 1500Pa
中檢 200Pa
精檢 40Pa
響應(yīng)時(shí)間 <0.5s
啟動(dòng)時(shí)間 ≤2min
前級(jí)油泵抽速 30m3/h(8.3L/s)
外形尺寸(W×D×H) 780×420×1100
重量 110Kg
常見泄漏率
檢漏方法示意圖