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      產(chǎn)品|公司|采購|資訊

      THERMOVAC 變送器 真空計 TTR 200 N S

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱安博元科技無錫有限公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時間2022/12/18 14:07:18
      • 訪問次數(shù)340
      產(chǎn)品標(biāo)簽:

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      安博元科技無錫有限公司:德國萊寶真空Leybold,主要業(yè)務(wù)為:真空機(jī)組系統(tǒng)的設(shè)計、組裝;德國萊寶Leybold真空產(chǎn)品的應(yīng)用選型、優(yōu)化、銷售代理服務(wù);德國萊寶Leybold真空產(chǎn)品的備件、真空泵濾芯等耗材的銷售服務(wù);真空泵的售后保養(yǎng)、維修服務(wù);致力于為工業(yè)用戶提供安全無憂的真空解決方案,安博元科技全體員工誠信拼搏,并持之以恒(元)地提供優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品及服務(wù)。萬泰集團(tuán)成立于2000年,是一家專業(yè)從事機(jī)械,機(jī)械部件的研發(fā)、制造與銷售的國際化集團(tuán)?,F(xiàn)有成員企業(yè)6家,在歐洲、北美有分公司。集團(tuán)公司擁有TS16949,ISO9001,ISO14001質(zhì)量及環(huán)境認(rèn)證。
      說明nbsp;nbsp;TTR 200 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從nbsp;5×10-5nbsp;毫巴至nbsp;1500 毫巴的較大測量范圍,基于對nbsp;MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性和壓電傳感器中硅膜的機(jī)械偏轉(zhuǎn)的測量結(jié)果。nbsp;nbsp;變送器配備nbsp;RS232 數(shù)字通信接口,可設(shè)定變送器參數(shù)并提供實時壓力測量。更多詳情,請參閱通信協(xié)......
      THERMOVAC 變送器 真空計 TTR 200 N S 產(chǎn)品信息

      說明

      TTR 200 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 毫巴至 1500 毫巴的較大測量范圍,基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性和壓電傳感器中硅膜的機(jī)械偏轉(zhuǎn)的測量結(jié)果。

      變送器配備 RS232 數(shù)字通信接口,可設(shè)定變送器參數(shù)并提供實時壓力測量。更多詳情,請參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232)

      每臺變送器在出廠前已逐臺進(jìn)行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外,每個變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補(bǔ)償。

      變送器擁有三個機(jī)械繼電器,這些繼電器可用于過程控制,例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備,用于獲取壓力讀數(shù),或進(jìn)行壓力控制。

      傳感器技術(shù)

      變送器含有兩個獨立的傳感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機(jī)械系統(tǒng))) 傳感器元件基于熱傳導(dǎo)性的測量結(jié)果。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片,其構(gòu)成空腔的一個表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀,空腔內(nèi)無法進(jìn)行對流,因此,傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴(kuò)散,氣體分子只到達(dá)熱元件,在此處可測量氣體的熱損耗。

      壓電傳感器基于對硅膜機(jī)械偏轉(zhuǎn)的測量。硅膜的一側(cè)暴露于環(huán)境壓力,另一側(cè)暴露于真空。

      壓電傳感器可測量無關(guān)于氣體成分和濃度的真實差壓。

      這兩個傳感器元件都極為堅固耐用,可承受較高重力和瞬間空氣涌入。


      變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中,如:工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:

      · 真空鎖壓力控制

      · 一般真空壓力測量

      · 前級管道和粗抽壓力測量

      · 氣體回填測量和控制

      · 質(zhì)譜儀控制

      · 啟動超高真空電離 (UHV) 規(guī)

      · 系統(tǒng)過程控制

      · 檢測異常壓力,利用設(shè)定點繼電器采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?/span>

      · 控制系統(tǒng)壓力


      應(yīng)用

      差分壓電傳感器將始終相對于環(huán)境壓力進(jìn)行精確的測量,不論環(huán)境條件如何改變。這使其成為以下高精度控制的理想備選:

      - 真空鎖 (確保精確快速的排氣并防止真空鎖受到空氣污染)

      - 相對于環(huán)境的腔室超壓和欠壓控制。



      例如:

      一名客戶想要在 10 毫巴的相對環(huán)境超壓下打開真空鎖,以免在他打開真空鎖時氣體涌入真空鎖。為此,此客戶可以基于差分壓電讀數(shù)來執(zhí)行一種控制算法。當(dāng)壓電讀數(shù)為 +10 毫巴時,表示真空鎖中的壓力較真空鎖外的環(huán)境壓力超出 10 毫巴 (不論環(huán)境壓力是多少,例如 1000 1020 毫巴)。除差分測量之外,變送器還提供較寬的測量范圍,此范圍可通過模擬輸出獲得。



      技術(shù)數(shù)據(jù)


      測量原理:

      依據(jù) MEMS Pirani 傳感器的熱傳導(dǎo)



      壓電傳感器中硅膜的機(jī)械偏轉(zhuǎn)









      測量范圍 (N2 和空氣):

      5×10-5 1500 毫巴













      測量范圍差分:

      -1013 1013 毫巴 (RS232)









      精確度 (1) (N2):

      MEMS Pirani:

      5×10-4 1x10-3 毫巴:

      誤差是讀數(shù)的 ±10%





      1×10-3 100 毫巴:

      誤差是讀數(shù)的 ±5%






      100 1000 毫巴:

      誤差是讀數(shù)的 ±25%













      差分壓電:

      -10 10 毫巴:

      誤差是讀數(shù)的 ±10% ±0.67 毫巴






      -100 -10 毫巴:

      誤差是讀數(shù)的 ±8%






      -1013 -100 毫巴:

      誤差是讀數(shù)的 ±1%






      10 100 毫巴

      誤差是讀數(shù)的 ±5%











      重復(fù)性 (1) (N2):

      MEMS Pirani:

      1x10-3 100 毫巴:

      誤差是讀數(shù)的 ±2%












      差分壓電:

      -1013 10 毫巴:

      誤差是讀數(shù)的 ±1%











      電源電壓:

      9-30 伏直流


      功耗:

      < 1.2


      熔絲 (熱可恢復(fù)):

      200 毫安


      模擬輸出:

      0.61-10.23 伏直流,Log. 1.286 伏直流/十進(jìn)制


      模擬輸出分辨率:

      16


      模擬輸出阻抗:

      100


      模擬輸出更新率:

      16 赫茲


      傳感器故障,模擬輸出:

      0.5





      設(shè)定點繼電器:



      P/N: 230365V02:

      3


      設(shè)定點繼電器范圍:

      :

      2 ×10-4 1300 毫巴


      差分值:

      -1013 毫巴至 1333 毫巴

      設(shè)定點繼電器觸點額定值:

      1 /30 伏直流/交流 (電阻性負(fù)載)


      設(shè)定點繼電器響應(yīng)時間:

      < 100 毫秒


      設(shè)定點繼電器觸點電阻:

      100 毫歐 ()


      設(shè)定點繼電器觸點耐久性:

      100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負(fù)載)


      設(shè)定點繼電器觸點耐久性:

      2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負(fù)載)





      材料暴露于真空 (2):

      304 號不銹鋼、密封材料 FPM





      內(nèi)部容積:

      KF16 法蘭

      2.8 厘米3








      外殼材質(zhì):

      304 號不銹鋼


      法蘭材質(zhì):

      304 號不銹鋼





      重量:

      305





      允許壓力:

      2


      運行溫度:

      0 40 °C (32 104 °F)


      烘烤溫度 (電源關(guān)閉):

      85 °C (185 °F)


      燈絲溫度:

      超過室溫 35 °C


      濕度:

      0 95% 非冷凝


      異物防護(hù)等級:

      IP40


      泄漏速率:

      < 5.10-9 毫巴?/



      配件和備件編號


      零件

      產(chǎn)品號

      TTR 200 N,ATMDN16 KF,RS232,3SP

      230365V02



      螺旋管 DN 16 ISO-KF

      230082

      擋板 DN 25 ISO-KF,含定心環(huán)

      230078



      定心環(huán) (1.4305 號不銹鋼),含 O 型環(huán),DN16 KF

      88346

      定心環(huán) (不銹鋼),含燒結(jié)金屬過濾器,DN16 KF

      88351

      卡環(huán) (),DN16 KF

      18341

      定心環(huán),含細(xì)濾器 DN16 KF

      88396


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