離子體清洗機(jī)又稱等離子表面處理機(jī),是一種新型的高科技技術(shù),利用等離子體達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),又稱物質(zhì)的第四種狀態(tài),不屬于常見的固液氣三種狀態(tài)。向氣體施加足夠的能量,使其離化成等離子體狀態(tài)。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子體清洗機(jī)利用這些活性成分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而達(dá)到清潔和涂層的目的。
主要用途:
1、清洗納米級樣品;
2、蝕刻光刻膠,除渣、硅片清洗;
3、引線鍵合倒裝芯片底部填充,器件的封裝和解封;
4、PDMS/微流控/載玻片/芯片實(shí)驗(yàn);
5、改善金屬與金屬或復(fù)合材料的結(jié)合;
6、激活聚合物上的官能團(tuán),實(shí)現(xiàn)親水或疏水潤濕性,提高粘合強(qiáng)度和可印刷性,促進(jìn)醫(yī)療設(shè)備的生物相容性。