真空計為什么要校正和標定？

• 各類型的真空規(guī)和測量計出廠使用一段時間后，因設備工藝的影響、表面沉積物堆積、油污污染、電子漂移等因素導致真空計測量的準確度出現(xiàn)誤差。
• 真空計的測量精度的誤差會直接影響生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性、設備使用的安全性、產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性、科學實驗的準確性。
• 要確保真空計的高可靠性使用，就必須經(jīng)常對它進行校準或標定，而根據(jù)不同應用的具體要求，這些校準工作必須符合相關(guān)行業(yè)的使用標準。

如何選擇合適的真空計？

在選擇真空計時，需要了解要測量的真空環(huán)境和真空壓力計本身的測量范圍是否相對應，盡管壓力測量在真空控制中有很重要的作用，但是沒有一種真空計能夠從大氣壓到10^-12mbar的整個測量范圍內(nèi)準確響應，因此選擇合適的壓力計對真空應用的各個工藝環(huán)節(jié)至關(guān)重要。

首先要確定測量壓力的范圍是多少？因為不同的壓力范圍需要使用不同的真空計。另外還需確定允許測量的漂移度或精度是多少？

真空計通過緊湊的電子控制和測量單元將測量值轉(zhuǎn)換為電壓或電流信號。它們以模擬量的形式轉(zhuǎn)換為標準化數(shù)字接口的數(shù)值來指示測量的壓力值。

要獲得最準確的壓力值讀數(shù)應首先考慮找到覆蓋測量范圍的真空規(guī)。

選擇真空計考慮因素：

• 壓力范圍和精度是否符合使用要求
• 通訊和控制模式是否達到要求
• 購買成本和可維修性

真空規(guī)管的類型如下：

• 直接測測量規(guī)：彈性元件真空規(guī)，膠囊真空規(guī)和電容膜片規(guī)（CDG）
• 間接量測規(guī)：皮拉尼真空規(guī)，熱陰極電離真空規(guī)和冷陰極電離規(guī)
• 主動與被動測量壓力表

不同規(guī)管類型量程如下圖：

• 影響真空計靈敏度的因素： 
• 被測氣體的種類
• 溫度 
• 準確度 
• 電導脈動 
• 震動 

為確保真空系統(tǒng)工作正常，真空計選擇需要考慮很多因素，要了解有關(guān)真空壓力測量主題的更多信息請查閱本站點技術(shù)博客“真空應用技術(shù)—真空計選擇指南”

我們配備了完整的真空計校準系統(tǒng)和各型標準真空計。

我們提供各種類型的真空計校準和真空計控制器維修包括：

皮拉尼計、主動皮拉尼（APG）熱電偶潘寧計、主動倒磁控管（AIM）

電容壓力計、離子計、Bayard-Alpert計

品牌包括：國產(chǎn)各、MKS、INFICON、LEYBOLD、EDWARDS、PFEIFFER等。

真空技術(shù)應用 —真空計選擇指南.PDF