電感耦合等離子體質(zhì)譜儀 ICP-MS可以分析元素周期表中所有金屬元素，檢出限在1ppt以下。同時可以分析絕大部分非金屬元素，例如As、Se、P、S、Si、Te等，檢出限低于1ppb。與AAS、AFS、ICP-OES等其他原子光譜檢測技術(shù)相比，在分析能力上，ICP-MS是痕量元素分析的技術(shù)，該項技術(shù)已從最初在地質(zhì)科學上的研究應用迅速地發(fā)展到用于冶金、石油、環(huán)境、生物、醫(yī)學、半導體、核材料分析領(lǐng)域。具有譜線少、干擾少、分析精度高、分析速度快、可以提供同位素信息等分析特性。