產(chǎn)品介紹INTRODUCTION
- PSM是一臺差式泵質(zhì)譜儀(In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis),分析等離子過程中的二次離子和中性粒子。
- 差式泵歧管,通過法蘭與過程反應(yīng)室連接
- 電子附著選件,具有可調(diào)諧的離子源,用于表觀電勢MS
- Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護(hù)
- 信號選通分辨率1μs,用于研究脈沖等離子體或能量、質(zhì)量分布VS時(shí)間
- 標(biāo)準(zhǔn)分析中性粒子、自由基,+ve / -ve 離子分析可選
- 靈敏度高 / 極穩(wěn)定的3級過濾四極桿
- 質(zhì)量數(shù)范圍:0 ~ 2500amu
- 脈沖離子計(jì)數(shù)檢測器,7個(gè)數(shù)量級的動(dòng)態(tài)范圍
- 能量分析選件,標(biāo)準(zhǔn) ±100eV(1000eV可選 )
- Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可選, 高壓操作可選
- 通過RS232、RS485或Ethernet LAN ,軟件MASsoft 控制