日立新一代超高分辨鎢燈絲掃描電鏡SU3500系列:

1.成像功能

　　SU3500所具備的新型的模擬圖像和改進后的電子光學系統(tǒng)以及圖像顯示算法使之能夠在低加速電壓下獲得更高的分辨率。3KV電壓時，SE圖像可達7nm,5KV電壓時，BSE圖像可達10nm。新開發(fā)的自動多級電子槍偏壓機構能夠在不降低電子束大小的情況下，在一定范圍內(nèi)的常用加速電壓下增加發(fā)射電流。因此，此款產(chǎn)品與S-3400N相比，噪音得以大幅減少，成像更加清晰。

　　通過SU3500的新開發(fā)并優(yōu)化過的圖像處理方法，現(xiàn)在可以很容易地在快速掃描模式下觀察到低噪聲的圖像。高速自動聚焦控制(AFC)和自動亮度及對比度控制(ABCC)的增強，使您可以縮短*2SEM(掃描電子顯微鏡)的觀察循環(huán)時間(TAT)

2.低真空功能操作的優(yōu)異性

　　新設計的真空程序使真空范圍可以達到6-650Pa,實時真空反饋允許在用戶特定的壓力設定下保持樣品室的快速的真空穩(wěn)定性。在低真空模式下直接觀察更清晰。

　　SU3500具有一個可變壓力模式，允許對處于自然狀態(tài)下的潮濕，油膩和非導電樣品進行觀察。由于正電離子是電子束撞擊殘余氣體分子的結果，所以不需要進行傳統(tǒng)的樣品前處理，比如干燥和金屬鍍層。

　　新開發(fā)的超高靈敏度可變壓力探測器得以進一步優(yōu)化，特別是在可變壓力模式下觀察超薄表面的微觀結構方面。通過同時觀察從標準BSE探測器得到的組成圖像，使得在多種應用下進行的各種各樣的分析都成為可能。振木先生以銅礦物、樹脂填料、水虱等圖像為例真實的再現(xiàn)了SU3500的這項功能。

3.友好的用戶界面

　　SU3500的用戶界面使工作效率得到極大的提高。它的顯示器像素為：大1,920×1,200像素 ，采用24.1英寸寬屏顯示器，提高了可視性和操作性，寬屏顯示器不僅使得單一模式下的顯示尺寸更大，而且還可為種用途實現(xiàn)多種顯示模式。用戶可以通過菜單操作選擇單幅圖像、雙幅圖像、四幅圖像以及全屏幕圖像顯示。

　　單幅圖像(800×600像素)的功能是便于找到視野及聚焦；雙幅圖像(800×600像素×2)可以同時顯示不同的探測器觀測到的實時SEM圖像。例如，此功能對于顯示超薄表面的微觀結構的UVD圖像和成分BSE圖像非常有效；四幅圖像(640×480像素×4)可以同時顯示不同信號的4種實時SEM圖像。例如，此功能對顯示SE圖像，BSE成分圖像，BSE形貌圖像和BSE 3D圖像非常有效；全屏幕圖像(1,280×960)大尺寸和高分辨率的實時圖像，適合多人同時觀察。信號混合功能是將同一視野內(nèi)的不同信號合成到一幅畫面里的功能。例如：具有樣品表面微細結構信息的二次電子(SE)像和具有豐富的成分信息的背散射電子(BSE)像，通過合成可以在一幅畫里同時顯示樣品表面的微觀形貌和成分信息，更易于評價與解析。

　　顯示圖像的寬高有2種模式可以供選擇。用戶的界面可以根據(jù)用戶的應用目的選擇佳的操作條件。對于SEM的初學者來說，可以在不具備任何技術知識的情況下很容易地操作。除了通過操作按鈕之外，諸如聚焦，放大倍率，掃描速度，亮度自動調(diào)整以及圖像都可以通過面板完成操作。嵌入式日常維護視頻文件使您能正確有效的進行日常維護。

4.多功能樣品室能容納各種樣品

　　優(yōu)中心5軸馬達驅(qū)動樣品臺主要是：1.移動X-Y，傾斜T，旋轉R，Z軸(高度)控制通過軌跡球(操縱桿為選配)，鼠標和輸入數(shù)值控制。2.X-Y軸移動步幅控制通過點擊可以實現(xiàn)每一個距離的移動。對于觀察等間隔的圖形有效。3.與Z軸聚焦點聯(lián)動的高度軸自動調(diào)整。即使當Z軸位置改變時，圖形也將隨時保持聚焦狀態(tài)。4.優(yōu)中心傾斜，旋轉。從現(xiàn)在的觀察位置傾斜，旋轉樣品時，圖形不會大幅地偏離視野。5.觀察位置的圖形顯示。此功能可把樣品和物鏡的相對位置在一個圖形上顯示出來。

　　圖像導航允許操作者使用一個低倍率的SEM圖像和光學范圍的圖像，或者數(shù)字圖像(可用的文件格式是BMP,JPEG和TIFF)瀏覽樣品尋找視野。

　　RISM：通過點擊其位置，可以把感興趣的部分移動到屏幕中心位置。ZOOM：通過拖動將感興趣的點框起來，然后被框起來的區(qū)域?qū)⒆詣泳又胁U大。

　　樣品臺移動到某抓圖位置，即使選擇后拍攝的100張圖像中的任何一幅，都可以重現(xiàn)其樣品臺坐標。

　　樣品座/真空系統(tǒng)：支持多種觀察的樣品座：有適用于14和33(12.7毫米樣品托)個樣品的多用途樣品座。還有為特定目的而準備的樣品座。擇樣品托號碼，按移動鍵即可將選好的位置移動到畫面中心。

　　SU3500在真空系統(tǒng)的閥門上采用可靠性高的氣動閥。該氣動閥在遭遇意外停電時可瞬間關閉。因此可以防止主機和樣品室的真空劣化。一般帶有低真空功能的電鏡需要2臺機械泵，而SU3500則只要一臺即可。