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      YAMATO等離子清洗機(jī)PR1000

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱浚和(上海)儀器有限公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地上海市
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時間2022/10/19 14:24:18
      • 訪問次數(shù)324
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      浚和(上海)儀器有限公司是一家供應(yīng)儀器和設(shè)備的專業(yè)供應(yīng)商和服務(wù)商,致力于為客戶提供專業(yè)的定制化解決方案。多年來,持續(xù)為醫(yī)藥、化工、高校、科研單位、檢測院等多個行業(yè)提供*的產(chǎn)品和專業(yè)的服務(wù)??:驮诓粩嘁M(jìn)儀器設(shè)備的同時,結(jié)合行業(yè)和市場需求,加強(qiáng)和客戶之間的溝通,并與國際上多家儀器設(shè)備制造商保持著長期穩(wěn)定的合作關(guān)系,不定期地與合作商進(jìn)行技術(shù)交流,努力加強(qiáng)自身技術(shù)力量。公司配備了數(shù)名有著多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)人員,依靠雄厚的技術(shù)實(shí)力、科學(xué)合理的配置方案、專業(yè)的安裝調(diào)試和周到的售后服務(wù),得到了廣大用戶的支持與信賴。公司主要經(jīng)營產(chǎn)品包括:等離子清洗機(jī)、真空泵、噴霧干燥器、高壓滅菌鍋、培養(yǎng)箱、切片機(jī)、水分測定儀、激光粒度儀、光譜儀、溫濕度記錄儀等,目前主要合作品牌有:日本雅馬拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、日本KEM等。同時,公司還提供專業(yè)的技術(shù)服務(wù),如設(shè)備的維護(hù)、驗(yàn)證等??:蛢x器將始終以行業(yè)特點(diǎn)為立足點(diǎn),以客戶需求為導(dǎo)向,不斷地提高自身專業(yè)技術(shù)能力,不停地完善客戶服務(wù)質(zhì)量,在發(fā)展中保持創(chuàng)新的精神,力求與客戶共同進(jìn)步,為行業(yè)的發(fā)展作出不懈的努力。
      YAMATO等離子清洗機(jī)PR1000
      YAMATO等離子清洗機(jī)PR1000 產(chǎn)品信息
      高頻等離子表面處理裝置。

      ■ 操作性·功能
      ● 射頻13.56Mhz 0-1000W高功率機(jī)型,發(fā)生器自動匹配,無需調(diào)節(jié)反射波,進(jìn)一步增加的操作的便捷性。
      ● 標(biāo)準(zhǔn)配備電離式真空計(jì),實(shí)時顯示真空度,使得控制更為精確。
      ● 純凈石英腔體非常適合于實(shí)驗(yàn)室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品,無需擔(dān)憂因?yàn)榍惑w材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?/span>

      ■ 安全性·保護(hù)
      ● 裝載有氣體流量、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈,可實(shí)時監(jiān)測和了解機(jī)器的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。
      ● 裝載有過電流漏電保護(hù)、真空泵、RF發(fā)生器,以及電源各部分均標(biāo)準(zhǔn)配備過電流漏電保護(hù)裝置。
      ● 發(fā)生器保護(hù)回路:超負(fù)荷或者RF發(fā)生器發(fā)生問題時,可自動調(diào)低頻率來保護(hù)發(fā)生器。
      ● 門鎖開關(guān):門在未*關(guān)閉時無法啟動電源。
      ● 側(cè)板鎖:本體側(cè)板突然打開或者未關(guān)好時,會停止電源。
      ● 緊急停止按鍵(EMO)標(biāo)準(zhǔn)配備。
      ● 運(yùn)行中ERR報警:運(yùn)行中出現(xiàn)以下問題設(shè)備會出現(xiàn)ERR報警,并停止裝置:RF輸出值與設(shè)定值不符,氣體流量值與設(shè)定值不符,RF反射波超過一定范圍,真空度未達(dá)到設(shè)定值,等離子處理后,設(shè)定時間內(nèi),未恢復(fù)到大氣壓。

      ■ 產(chǎn)品優(yōu)勢
      ●等離子清洗機(jī)清洗效果好,清洗效率高,功率大,應(yīng)用范圍廣。
      ●對清洗樣品,沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求。
      ●等離子清洗過程中,溫升很小,基本可達(dá)到常溫處理。
      ●高效的特制電極,是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
      ●特制電極和托盤結(jié)構(gòu),可保證樣品可得到全面有效的清洗。
      ●安全保護(hù)措施綿密,有效防止對機(jī)器以及樣品的損害。

      規(guī)格:

      型號

      PR1000

      方式

      DP模式、圓柱形腔體

      性能

      發(fā)生器功率:

      0-1000W

      發(fā)生器頻率:

      射頻RF13.56Mhz

      發(fā)生器匹配方式:

      自動匹配(Auto matching)

      構(gòu)成

      腔體材質(zhì):

      石英

      腔體內(nèi)尺寸:

      φ400×L500mm 62.8L

      反應(yīng)氣體:

      雙路工藝氣體,其中一路可支持氧氣、氬氣、氮?dú)獾确歉g性氣體,一路防腐蝕氣路支持CF4.

      填充氣體:

      一路氮?dú)?/span>

      控制方式:

      全自動控制,7寸液晶觸摸屏

      真空度顯示:

      測量高真空的電離式真空計(jì)標(biāo)準(zhǔn)配備,實(shí)時顯示腔體內(nèi)真空度

      配管材質(zhì):

      SUS不銹鋼以及特氟龍

      門:

                                                鉸鏈門

      涂裝顏色:

                                              標(biāo)準(zhǔn)色,白系

      外形尺寸:

      W800×D919×H1958mm (高度含警報燈)

      真空泵:

      無油干式真空泵    抽速60m3/hour,吸氣口NW40,排氣口NW25

      電源規(guī)格:

                                          3phase   AC200V  50/60Hz  8A  

      重量:

                                               215kg

      附屬品

       

      真空管件一套、真空轉(zhuǎn)接接頭一套、6寸、8寸石英舟各一枚


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