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      高真空電阻熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)

      參考價(jià)面議
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司
      • 品       牌
      • 型       號(hào)PC-003
      • 所  在  地深圳市
      • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
      • 更新時(shí)間2022/8/19 17:14:30
      • 訪問(wèn)次數(shù)618
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      聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是 智能制造網(wǎng) 上看到的信息,謝謝!

      鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司,由哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳)與有多年實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)的工程師團(tuán)隊(duì)共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于技術(shù)前沿與市場(chǎng)前沿的交叉點(diǎn),尋求創(chuàng)新YIN/LING與可持續(xù)發(fā)展,解決產(chǎn)業(yè)的痛點(diǎn)和國(guó)產(chǎn)化難題,爭(zhēng)取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。

      公司核心業(yè)務(wù)是微納技術(shù)與gao/duan精密制造,具體應(yīng)用領(lǐng)域包括半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體工藝和半導(dǎo)體裝備的研發(fā)設(shè)計(jì)和生產(chǎn)制造。

      公司人才團(tuán)隊(duì)知識(shí)結(jié)構(gòu)完整,有以哈工大教授和博士為核心的高水平材料研究和工藝研究團(tuán)隊(duì);還有來(lái)自工業(yè)界的高級(jí)裝備設(shè)計(jì)師團(tuán)隊(duì),他們具有20多年的半導(dǎo)體材料研究、外延技術(shù)研究和半導(dǎo)體薄膜制備成套裝備設(shè)計(jì)、生產(chǎn)制造的經(jīng)驗(yàn)。

      公司依托于哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳),具備*的半導(dǎo)體研發(fā)設(shè)備平臺(tái)和檢測(cè)設(shè)備平臺(tái),可以在高起點(diǎn)開展科研工作。公司總部位于深圳市,具備半導(dǎo)體裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試以及半導(dǎo)體材料與器件的中試、生產(chǎn)、銷售的能力。

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      團(tuán)隊(duì)部分業(yè)績(jī)分布

      *自主設(shè)計(jì)制造的分子束外延(MBE)設(shè)備,包括自主設(shè)計(jì)制造的MBE超高真空外延生長(zhǎng)室、工藝控制系統(tǒng)與軟件、高溫束源爐、高溫樣品臺(tái)、Rheed原位實(shí)時(shí)在線監(jiān)控儀(反射高能電子衍射儀)、直線型電子槍、膜厚儀(可計(jì)量外延生長(zhǎng)的分子層數(shù))、射頻源等關(guān)鍵部件。真空度達(dá)到2×10-8Pa。


      設(shè)備于2005年在浙江大學(xué)光學(xué)儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室投入使用,至今仍在正常使用。


      設(shè)計(jì)制造磁控濺射與等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法PECVD技術(shù)聯(lián)合系統(tǒng),應(yīng)用于團(tuán)簇式太陽(yáng)能薄膜電池中試線。使用單位中科院電工所。


      設(shè)計(jì)制造了金剛石薄膜制備設(shè)備,應(yīng)用于金剛石薄膜材料的研究與中試生產(chǎn)設(shè)備?,F(xiàn)使用單位中科院金屬研究所。


      設(shè)計(jì)制造了全自動(dòng)磁控濺射設(shè)備,可加水平磁場(chǎng)和垂直磁場(chǎng),自行設(shè)計(jì)的真空機(jī)械手傳遞基片。應(yīng)用于高密度磁記錄材料與器件的研究和中試?,F(xiàn)使用單位國(guó)家光電實(shí)驗(yàn)室。


      設(shè)計(jì)制造了OLED有機(jī)半導(dǎo)體發(fā)光材料及器件的研究和中試成套裝備。現(xiàn)使用單位香港城市大學(xué)*材料實(shí)驗(yàn)室。


      設(shè)計(jì)制造了MOCVD及合金退火爐,用于GaN和ZnO的外延生長(zhǎng),實(shí)現(xiàn)LED無(wú)機(jī)半導(dǎo)體發(fā)光材料與器件的研究和中試?,F(xiàn)使用單位南昌大學(xué)國(guó)家硅基LED工程技術(shù)研究中心。


      設(shè)計(jì)制造了磁控濺射研究型設(shè)備。現(xiàn)使用單位浙江大學(xué)半導(dǎo)體所。


      設(shè)計(jì)制造了電子束蒸發(fā)儀研究型設(shè)備?,F(xiàn)使用單位武漢理工大學(xué)。

                                                   

      鵬城半導(dǎo)體中國(guó)地圖標(biāo)注.jpg


      公司已投放市場(chǎng)的部分半導(dǎo)體設(shè)備


      |物理氣相沉積(PVD)系列

      磁控濺射鍍膜機(jī)、電子束鍍膜機(jī)、熱蒸發(fā)鍍膜機(jī),離子束濺射鍍膜機(jī)、磁控與離子束復(fù)合鍍膜機(jī)

      |化學(xué)氣相沉積(CVD)系列

      MOCVD、PECVD、LPCVD、熱絲CVD、ICPECVD、等離子刻蝕機(jī)、等離子清洗機(jī)

      |超高真空系列

      分子束外延系統(tǒng)(MBE)、激光分子束外延系統(tǒng)(LMBE)

      |OLED中試設(shè)備(G1、G2.5)

      |其它

      金剛石薄膜制備設(shè)備、硬質(zhì)涂層設(shè)備、磁性薄膜設(shè)備、電極制備設(shè)備、合金退火爐

      |太陽(yáng)能薄膜電池設(shè)備(PECVD+磁控濺射)

      團(tuán)簇式太陽(yáng)能薄膜電池中試線

      半導(dǎo)體設(shè)備,分子束系統(tǒng)MBE,ALD原子層沉積,超高真空系列,物理氣相沉積PVD系列,化學(xué)氣相沉積CVD系列
      品牌 鵬城半導(dǎo)體 產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn)
      靶材 詳見(jiàn)產(chǎn)品簡(jiǎn)介 基片溫度范圍 詳見(jiàn)產(chǎn)品簡(jiǎn)介
      基片尺寸 詳見(jiàn)產(chǎn)品簡(jiǎn)介 成膜厚度均勻性 詳見(jiàn)產(chǎn)品簡(jiǎn)介
      極限真空 詳見(jiàn)產(chǎn)品簡(jiǎn)介
      高真空電阻熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)(高真空鍍膜機(jī))采用電阻熱蒸發(fā)技術(shù),它是在高真空條件下,通過(guò)加熱材料的方法,在襯底上沉積各種化合物、混合物單層或多層膜??捎糜谏a(chǎn)和科學(xué)實(shí)驗(yàn),可根據(jù)用戶要求專門訂制;可用于材料的物理和化學(xué)研究;可用于制備金屬導(dǎo)電電極;可用于有機(jī)材料的物理化學(xué)性能研究實(shí)驗(yàn)、有機(jī)半導(dǎo)體器件的原理研究實(shí)驗(yàn)、OLED實(shí)驗(yàn)研究及有機(jī)太陽(yáng)能薄膜電池研究實(shí)驗(yàn)等。
      高真空電阻熱蒸發(fā)鍍膜機(jī) 產(chǎn)品信息

      高真空電阻熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)(高真空鍍膜機(jī))采用電阻熱蒸發(fā)技術(shù),它是在高真空條件下,通過(guò)加熱材料的方法,在襯底上沉積各種化合物、混合物單層或多層膜??捎糜谏a(chǎn)和科學(xué)實(shí)驗(yàn),可根據(jù)用戶要求專門訂制;可用于材料的物理和化學(xué)研究;可用于制備金屬導(dǎo)電電極;可用于有機(jī)材料的物理化學(xué)性能研究實(shí)驗(yàn)、有機(jī)半導(dǎo)體器件的原理研究實(shí)驗(yàn)、OLED實(shí)驗(yàn)研究及有機(jī)太陽(yáng)能薄膜電池研究實(shí)驗(yàn)等。


      設(shè)備構(gòu)成

      -單鍍膜室

      -單鍍膜室+進(jìn)樣室

      -單鍍膜室+手套箱(可將鍍膜室放在手套箱內(nèi))

      -單鍍膜室+進(jìn)樣室+手套箱(可將鍍膜室放在手套箱內(nèi))

      -多鍍膜室+樣品傳遞室+手套箱(組成團(tuán)簇式結(jié)構(gòu),樣品傳遞采用真空機(jī)械手)


      設(shè)備組成

      電阻熱蒸發(fā)源組件、樣品掩膜擋板系統(tǒng)、真空獲得系統(tǒng)及真空測(cè)量系統(tǒng)、分子泵(或冷泵)真空機(jī)組、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺(tái)、工作氣路、手套箱連接部件、樣品傳遞機(jī)構(gòu),膜厚控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、恒溫冷卻水系統(tǒng)等組成。

      熱蒸發(fā)源類型和數(shù)量,可根據(jù)用戶需要進(jìn)行配置。

      可選件:膜厚監(jiān)控儀,恒溫制冷水箱。


      熱蒸發(fā)源種類及配置

      電阻熱蒸發(fā)源組件:數(shù)量:1~12套(可根據(jù)用戶要求配裝);

      電阻熱蒸發(fā)源種類:鉭(鎢或鉬)金屬舟熱蒸發(fā)源組件、石英舟熱蒸發(fā)源組件、鎢極或鎢藍(lán)熱蒸發(fā)源組件、鉭爐熱蒸發(fā)源組件(配氮化硼坩堝或陶瓷坩堝)、束源爐熱蒸發(fā)組件(配石英坩堝或氮化硼坩堝)。


      高真空電阻熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)(高真空鍍膜機(jī)) 工作條件(實(shí)驗(yàn)室應(yīng)具備的設(shè)備工作條件)

      供電:4kW,三相五線制~ AC 380V

      工作環(huán)境濕度:10℃~ 40℃

      工作環(huán)境溫度:≤50%

      冷卻循環(huán)水:>0.2m3/h,水溫18℃~ 25℃

      水壓:0.15MPa ~ 0.25MPa


      真空性能

      極限真空:7×10-5Pa~7×10-6Pa

      設(shè)備總體漏放率:關(guān)機(jī)12小時(shí),≤10Pa


      操作方式

      手動(dòng)、半自動(dòng)

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