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無塵烘箱，MES無塵烘箱

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具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
品牌
型號
所在地上海市
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時間2022/8/4 11:14:31
訪問次數(shù)177

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公司介紹主營產(chǎn)品

　　上海雋思實驗儀器有限公司集研發(fā)、設計、制造、銷售于一體，專業(yè)制造氣候環(huán)境試驗設備、各類烘干設備及實驗室儀器，電線電纜燃燒分析檢測設備，拉力試驗機，光學分析儀器等產(chǎn)品.燃燒試驗機，電纜燃燒試驗機高低溫試驗箱，溫濕度試驗箱，真空干燥箱電纜切片機，削片機，交聯(lián)電纜切片機拉力機，拉力試驗機，*試驗機電纜投影儀，電纜截面投影儀，電纜測量投影老化試驗機，老化房定做過渡電阻測試儀，絕緣電阻測試儀，電橋氣候環(huán)境試驗設備、各類烘干設備及實驗室儀電線電纜燃燒分析檢測設備，拉力試驗機.

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產(chǎn)品簡介在線詢價

用途用于IC

無塵烘箱，MES無塵烘箱產(chǎn)品信息

用途	用于IC,晶圓等電子、半導體、醫(yī)療行業(yè)高潔凈度烘烤制程工藝
溫度范圍	室溫＋10℃～250℃
溫度波動度	恒溫溫度波動±0.5℃
溫度均勻度	計算方法:設定150℃,6點測溫,(max-min)/min≤3.5%
工作室尺寸（mm）	450（深）450（寬）600（高）（可自定）
潔凈度（class）	Class100
氣體過濾	配有氣體過濾裝置，保證腔體內(nèi)潔凈度為100級
隔板要求	每個腔體配二個隔板，用不銹鋼板沖孔制成
箱體外壁材料	冷軋鋼板靜電噴塑（或SUS304）
箱體內(nèi)壁材料	為不銹鋼板內(nèi)壁氬弧焊（SUS316或SUS304）
保溫材料	優(yōu)質(zhì)超細納米玻璃棉
氮氣接口	能將箱內(nèi)空氣排出，確保烘烤的硅片是在氮氣中進行
控制方式	人機界面+PLC控制
氮氣流量	0.3~0.5M3/H(可調(diào)，可選擇具有流量偏低/偏高報警功能,并實時監(jiān)控記錄曲線）
超溫保護	采用獨立的超溫保護裝置，確保溫度不超限；當保護裝置動作時，超溫保護裝置自動切斷加熱電源并進行聲光報警、控制儀采用LED顯示且可調(diào)
計時方式	溫度達到制程設定值后開始計時.
排風口	直徑50mm的排風口,且安裝有調(diào)節(jié)風閥
電氣安全保護	風機過載保護、加熱系統(tǒng)超溫保護、電磁門鎖保護、安全接地保護.
MES軟件	可連接MES系統(tǒng)
	作業(yè)時掃碼可實現(xiàn)自動調(diào)取所需作業(yè)程序,作業(yè)員只需確認是否正確
	自動記錄作業(yè)累計次數(shù)，作業(yè)批號,作業(yè)人員,作業(yè)起止日期及時間,作業(yè)溫度曲線,作業(yè)條件,可自動生成Excel報表
	有權(quán)限操作員需掃碼后才可操作此設備,且自動記錄作業(yè)人員