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HMDS增粘劑烘箱，HMDS涂膠機(jī)

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公司名稱上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
品牌
型號(hào)
所在地上海市
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間2024/1/27 15:52:53
訪問(wèn)次數(shù)200

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　　上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司集研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷售于一體，專業(yè)制造氣候環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、各類烘干設(shè)備及實(shí)驗(yàn)室儀器，電線電纜燃燒分析檢測(cè)設(shè)備，拉力試驗(yàn)機(jī)，光學(xué)分析儀器等產(chǎn)品.燃燒試驗(yàn)機(jī)，電纜燃燒試驗(yàn)機(jī)高低溫試驗(yàn)箱，溫濕度試驗(yàn)箱，真空干燥箱電纜切片機(jī)，削片機(jī)，交聯(lián)電纜切片機(jī)拉力機(jī)，拉力試驗(yàn)機(jī)，*試驗(yàn)機(jī)電纜投影儀，電纜截面投影儀，電纜測(cè)量投影老化試驗(yàn)機(jī)，老化房定做過(guò)渡電阻測(cè)試儀，絕緣電阻測(cè)試儀，電橋氣候環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、各類烘干設(shè)備及實(shí)驗(yàn)室儀電線電纜燃燒分析檢測(cè)設(shè)備，拉力試驗(yàn)機(jī).

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HMDS增粘劑烘箱，HMDS涂膠機(jī)HMDS增粘劑烘箱即HMDS(六甲基二硅烷)增粘劑氣相涂布，涂膠工藝的配置機(jī)臺(tái)

HMDS增粘劑烘箱，HMDS涂膠機(jī) 產(chǎn)品信息

HMDS增粘劑烘箱，HMDS涂膠機(jī)

HMDS增粘劑烘箱即HMDS(六甲基二硅烷)增粘劑氣相涂布，涂膠工藝的配置機(jī)臺(tái)。該設(shè)備結(jié)合了有效的真空烘烤和蒸汽氣相涂布應(yīng)用方法。在使用同一腔室過(guò)程的過(guò)程，為脫水和蒸汽灌注創(chuàng)造了一個(gè)加熱的真空環(huán)境，大大降低了晶片再水化或污染的風(fēng)險(xiǎn)。同時(shí)，提高了安全性，具有更好的安全保障。

HMDS增粘劑烘箱，HMDS涂膠機(jī)工藝步驟

工作腔室泵+N2清洗循環(huán)：涂膠過(guò)程從泵開始，并在初始烘烤數(shù)分鐘后清洗預(yù)熱完成的真空腔室的循環(huán)，以到達(dá)使基板脫水的目的。將腔室抽真空至低壓并重新充入純氮?dú)鈹?shù)次以去除水蒸氣。同時(shí)可編程預(yù)熱脫水步驟提供了足夠的加熱時(shí)間來(lái)將晶片預(yù)熱到工藝溫度；

循環(huán)吹掃完成后，將降低工作室壓力，打開裝有 HMDS 化學(xué)品的燒瓶的蒸汽閥，當(dāng)蒸氣閥打開時(shí)，腔室將化學(xué)蒸氣吸入，HMDS 蒸氣然后與晶片反應(yīng)。數(shù)分鐘的汽化時(shí)間對(duì)晶圓進(jìn)行底漆處理，汽化時(shí)間是可調(diào)的，可以根據(jù)需要增加，以確保對(duì)各種類型的表面進(jìn)行底漆處理，關(guān)閉蒸汽閥并保持烘烤狀態(tài)；

工作腔室泵+N2排氣循環(huán)，烘烤時(shí)間結(jié)束后，N2注入腔體內(nèi)，真空泵抽出氣體，數(shù)次循環(huán)后以到達(dá)使腔內(nèi)殘余HMDS蒸汽排出的目的。

HMDS增粘劑烘箱，HMDS涂膠機(jī)技術(shù)性能

溫度范圍：RT+10-200℃

真空度：≤1torr

操作方式：人機(jī)界面，一鍵運(yùn)行

儲(chǔ)液瓶：HMDS儲(chǔ)液量1000ml

真空泵：無(wú)油渦旋真空泵

工藝編輯：可儲(chǔ)存5個(gè)程序

氣體：N2進(jìn)氣閥，自動(dòng)控制

容積：40L/90L/210L,可定制

產(chǎn)品兼容性：2~12寸晶圓及碎片、方片等

適用行業(yè)：MEMS、濾波、放大、功率等器件，晶圓、玻璃、貴金屬，SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。