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      URE-2000/35型紫外光刻機

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱安徽智微科技有限公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地合肥市
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時間2022/8/1 16:24:59
      • 訪問次數(shù)234
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      微控設(shè)備
      產(chǎn)品名稱:URE-2000/35型紫外光刻機主要技術(shù)指標(biāo):曝光面積:100mm×100mm分辨力:1um(膠厚1.5μm的正膠)對準(zhǔn)精度:±0.8μm膠厚:300μm(SU8膠)掩模尺寸:2.5inch、3inch、4inch、5inch樣片尺寸:直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)
      URE-2000/35型紫外光刻機 產(chǎn)品信息

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      產(chǎn)品名稱:URE-2000/35型紫外光刻機



      主要技術(shù)指標(biāo):


      曝光面積:100mm×100mm
      分辨力:1um(膠厚1.5μm的正膠)
      對準(zhǔn)精度:±0.8μm
      膠厚:300μm(SU8膠)
      掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
      樣片尺寸:直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm);
      照明均勻性:±4%(Ф100mm 范圍)
      汞燈功率:350W(直流)
      掩模相對于樣片運動行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

      技術(shù)特點:

      創(chuàng)新采用三柔性支點實現(xiàn)高精度自動調(diào)平;真空接觸自動曝光;樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實現(xiàn)自動化控制;采用積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明;可連續(xù)設(shè)定分離間隙;采用雙目雙視場顯微鏡實現(xiàn)高對準(zhǔn)精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。
      關(guān)鍵詞:顯微鏡
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