產(chǎn)品名稱:URE-2000/35型紫外光刻機 | ||
主要技術(shù)指標(biāo): | ||
曝光面積:100mm×100mm | ||
分辨力:1um(膠厚1.5μm的正膠) | ||
對準(zhǔn)精度:±0.8μm | ||
膠厚:300μm(SU8膠) | ||
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch | ||
樣片尺寸:直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm); | ||
照明均勻性:±4%(Ф100mm 范圍) | ||
汞燈功率:350W(直流) | ||
掩模相對于樣片運動行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6° | ||
技術(shù)特點: | ||
創(chuàng)新采用三柔性支點實現(xiàn)高精度自動調(diào)平;真空接觸自動曝光;樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實現(xiàn)自動化控制;采用積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明;可連續(xù)設(shè)定分離間隙;采用雙目雙視場顯微鏡實現(xiàn)高對準(zhǔn)精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。 |
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微控設(shè)備
URE-2000/35型紫外光刻機 產(chǎn)品信息
關(guān)鍵詞:顯微鏡
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