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      DS-2000/14G型光刻機

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準
      • 公司名稱安徽智微科技有限公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地合肥市
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時間2022/8/1 16:02:34
      • 訪問次數(shù)550
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      微控設(shè)備
      產(chǎn)品名稱:DS-2000/14G型光刻機主要技術(shù)指標:單次曝光面積:1.4mm×1mm曝光基片:100mm×100mm對準精度:±0.8μm(半自動對準)膠厚:300μm(SU8膠)自動逐場對焦
      DS-2000/14G型光刻機 產(chǎn)品信息

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      產(chǎn)品名稱:DS-2000/14G型光刻機



      主要技術(shù)指標:


      單次曝光面積:1.4mm×1mm
      曝光基片:100mm ×100mm
      對準精度:±0.8μm(半自動對準)
      膠厚:300μm(SU8膠)
      自動逐場對焦;
      分辨力:1μm;
      X、Y、Z、θ四自由度電動位移臺
      X、Y平移重復定位精度:0.65μm(3σ)
      Z向運動精度:1μm

      技術(shù)特點:

      該機可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長的極紫外光作為光源,用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統(tǒng)掩模板,采用積木 錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明,并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對準系統(tǒng)(可同時使用),拼接獲得大面積圖形,曝光設(shè)定采用微機控制,菜單界面友好,操作簡便。


      關(guān)鍵詞:位移臺 顯微鏡 CCD
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