測試參數(shù):
設備型號:LB-8500L
外型尺寸:1500*1200*1600
設備重量:約850KG
電源供應:110V/220V@4.0A 50/60HZ
壓縮空氣:4.5-6Bar
真空輸出:500mm Hg
控制電腦:聯(lián)想PC
軟件運行:Windows7/Windows10
顯微鏡:三目影像顯微鏡
傳感器更換方式:自動切換或手動更換測試模塊
平臺治具:平臺共用多種測試治具,按客戶樣品量身設計匹配治具
XY軸有效行程:X軸有效行程500mm,Y軸有效行程300mm,可按客戶產(chǎn)品訂制具體尺寸
Z軸有效行程:80mm
XY軸分辯率:±1um Z軸分辯率±1um
傳感器精度:傳感器精度±0.003%;綜合測試精度±0.25%