可靠的凈化處理和預(yù)防污染
APR 是一個(gè)在等待時(shí)間內(nèi)凈化晶圓并防止污染的系統(tǒng)??諝夥肿游廴疚铮ê喎Q AMC)降低了半導(dǎo)體生產(chǎn)中的產(chǎn)量和質(zhì)量而 APR 則能有效地防止晶圓和輸送箱表面吸附被污染的有機(jī)或無機(jī)分子。通過在 APR 室里進(jìn)行疏散,吸附概率大幅度減少。晶圓廠可通過這種方式顯著地增加產(chǎn)量,且各個(gè)工藝步驟之間的等待時(shí)間也會(huì)得到優(yōu)化。
APR 是如何工作的
FOUP 既可以手動(dòng)傳送,也可通過 2 個(gè)裝載端口上的懸掛式起重運(yùn)輸 (OHT) 來傳送。APR 是一個(gè)帶有四疊真空室的系統(tǒng),用于對晶圓和 FOUP 作凈化去污處理,這項(xiàng)工作由一個(gè)可靠的機(jī)器人來擔(dān)任。所有腔室都配備了真空泵站、氣箱、操作面板以及帶電源的控制器。且這些腔室均可以單獨(dú)地進(jìn)行操作。當(dāng)把含有晶圓的 FOUP 裝載到腔室以后,腔室中的壓力減少到 0.1 mbar。然后進(jìn)行去污凈化處理。之后,該腔室采用潔凈的氮?dú)膺M(jìn)行吹掃并恢復(fù)到大氣壓。此時(shí),這些晶圓以及運(yùn)輸箱不受污染已超過一天。