(1) 為防止刮傷玻璃基板,ISB采用Dupont的Vespel及PBI、PEEK等具有代表性的工程樹脂材料。
(2) 能夠抑制微粒粉塵產(chǎn)生,體現(xiàn)ISB*的潔凈技術(shù)。
(3) 根據(jù)使用環(huán)境要求,可提供多樣化的脫脂洗凈方法。洗凈方法1:個(gè)別部件用有機(jī)溶劑洗凈。
洗凈方法2:所有部件用*超聲波洗凈。
(4) 玻璃基板定位時(shí)的摩擦系數(shù)僅為Pin支撐方式的1/10。
(5) 與滑動摩擦的Pin支撐相比,滾動摩擦的萬向球壽命更長。
無塵室萬向球的載重能力是因不同的使用工況而有所不同。因此,以面板制造廠家為基準(zhǔn),參照ISB的過往實(shí)績給予建議,初次使用無塵室萬向球時(shí),請以0~1Kg荷載進(jìn)行設(shè)計(jì)。
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