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德國 Pfeiffer 上海伯東殘余氣體分析儀 PrismaPro
上海伯東德國 Pfeiffer 殘余氣體分析儀(四級桿質(zhì)譜儀)集高靈敏度, 高穩(wěn)定性和智能操作于一體, 配置新一代的操作軟件 PV MassSpec, 可定量定性評估真空系統(tǒng)中的殘余氣體成分. -低可檢測分壓 3 X10-15 hPa.
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 特性:
模塊化設計保證兼容性, JSON 編程界面和多種接口易于系統(tǒng)集成
分析儀器和電子單元可靈活互換
雙燈絲延長工作時間
-低可檢測分壓 3 X10-15 hPa
可直接連接真空計, 方便測量壓力
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 技術參數(shù):
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型號
QMG 250 F1
QMG 250 F2
QMG 250 F3
QMG 250 M1
QMG 250 M2
QMG 250 M3
檢測器
法拉第 Faraday (F)
電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
質(zhì)量數(shù) amu
1–100
1–200
1–300
1–100
1–200
1–300
四極桿直徑/長度
6 /125 mm
最小檢測極限 F hPa *1,2
4X10-13
5X10-13
7X10-13
-
-
-
最小檢測極限 M hPa *1,2
-
-
-
3X10-15
4X10-15
5X10-15
對Ar的靈敏度 F A/hPa*3
5X10-4
4X10-4
3X10-4
5X10-4
4X10-4
3X10-4
大工作壓力 F hPa
5X10-4
大工作壓力 M hPa
-
-
-
5X10-5
5X10-5
5X10-5
對臨近質(zhì)量數(shù)的影響*1
< 10 ppm
< 20 ppm
< 50 ppm
< 10 ppm
< 20 ppm
< 50 ppm
操作溫度 分析
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
操作溫度 電子
5 – 50 °C
烘烤溫度 分析
300 °C
連接法蘭
DN 40 CF-F
保壓時間
1 ms – 16 s/amu
重量
2.5 kg
3.2 kg
* 1 開放式離子源,
* 2 停留時間 4秒
*3 與 C-SEM相比, 具有較高的靈敏度
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 標準通訊接口:
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 可擴展的通訊接口:
Pfeiffer 殘余氣體分析儀結構視頻
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