阿瑞斯-µVOC提供給客戶一個實時快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測方案，不需要采樣，離線測量。

檢測限達到sub-ppb級

潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內(nèi)部來自建筑材料釋出、設備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設備維護修理時散發(fā)等，外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

一旦AMC空氣分子污染物超標會引起一系列嚴重后果，比如晶圓廢棄、停產(chǎn)、重新凈化潔凈室等。

隨著IC產(chǎn)品生產(chǎn)成本的增加，空氣分子污染物AMC的監(jiān)測變得越來越重要。

污染物從加工到超凈間的擴散，并且成份的增加，分子污染物來自多個源頭，比如生產(chǎn)化學藥劑、建筑材料、潔凈間設備裝置、操作人員等。

阿瑞斯-µVOC  系統(tǒng)意味著潛在鑒別空氣分子污染物與產(chǎn)生污染問題和減少污染問題之間的關(guān)聯(lián)，完整的全量程全組份實時sub-ppb級測量，提供早期AMC監(jiān)測和快速確定這些污染問題的原因。