⑴真空泵作業(yè)時發(fā)生的振動對工藝進(jìn)程及環(huán)境有無影響。若工藝進(jìn)程不允許，應(yīng)挑選無振動的泵或者采取防振動辦法。

    ⑵了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。挑選真空泵時，需求知道氣體成分，針對被抽氣體挑選相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。

    ⑶真空泵在其作業(yè)壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝進(jìn)程中發(fā)生的全部氣體量。

    ⑷正確地組合真空泵。因?yàn)檎婵毡糜刑暨x性抽氣，因此，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需求幾種泵組合起來，相互補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空設(shè)備得到較好的真空度。別的，有的真空泵不能在大氣壓下作業(yè)，需求預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需求前級泵，故都需求把泵組合起來使用。

    ⑸真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)厲要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)厲，能夠挑選有油泵，加上一些防油污染辦法，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。