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      高真空隔膜泵能夠抵抗腐蝕性氣體的侵蝕

      2024年08月16日 07:02:44人氣:18來(lái)源:凱恩孚科技(上海)有限公司

        高真空隔膜泵是一種能夠在高真空環(huán)境下工作的泵類設(shè)備,通過(guò)隔膜的往復(fù)運(yùn)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體的抽吸和壓縮。這種泵廣泛應(yīng)用于科研、半導(dǎo)體制造、光電技術(shù)、化工、生物制藥等行業(yè),用于提供無(wú)油、無(wú)污染的高真空環(huán)境。主要由泵體、隔膜、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和控制系統(tǒng)等部分組成。隔膜是泵的核心部件,它將泵腔分為吸入腔和排出腔。工作時(shí),隔膜在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。在吸入行程中,隔膜向吸入腔方向移動(dòng),使吸入腔體積增大,壓力降低,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體的吸入;在排出行程中,隔膜向排出腔方向移動(dòng),使排出腔體積減小,壓力升高,將氣體排出。這樣,隔膜泵就能夠連續(xù)地抽吸和排放氣體,達(dá)到抽氣的目的。
       

       

        高真空隔膜泵的主要特點(diǎn):
        1.無(wú)油污染:由于隔膜泵不使用潤(rùn)滑油,因此可以避免油蒸汽對(duì)高真空系統(tǒng)的污染。
        2.高真空度:隔膜泵能夠提供高的真空度,通??蛇_(dá)到10^-3Pa甚至更高的水平。
        3.抗腐蝕:隔膜泵的泵體和隔膜通常采用耐腐蝕材料制成,能夠抵抗腐蝕性氣體的侵蝕。
        4.低振動(dòng):隔膜泵的工作原理決定了其運(yùn)行時(shí)振動(dòng)較小,有利于實(shí)驗(yàn)室等對(duì)振動(dòng)敏感的環(huán)境。
        5.維護(hù)簡(jiǎn)單:隔膜泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,維護(hù)和保養(yǎng)相對(duì)容易。
        應(yīng)用領(lǐng)域:
        1.半導(dǎo)體制造:用于晶圓生產(chǎn)、刻蝕、鍍膜等工藝中的高真空抽取。
        2.科研實(shí)驗(yàn):為各種高真空實(shí)驗(yàn)提供必要的真空環(huán)境。
        3.光電技術(shù):在光電器件的制造和測(cè)試中提供高真空條件。
        4.化工行業(yè):用于有毒、有害、腐蝕性氣體的處理和輸送。
        5.生物制藥:在藥物研發(fā)和生產(chǎn)中提供無(wú)菌的真空環(huán)境。
        高真空隔膜泵的操作流程:
        1.開機(jī)檢查:確保泵體清潔,各連接部位密封良好,無(wú)異常振動(dòng)和噪音。
        2.系統(tǒng)預(yù)熱:開啟泵前,先對(duì)泵進(jìn)行預(yù)熱,避免因溫差引起的冷凝。
        3.啟動(dòng)泵:打開電源,啟動(dòng)隔膜泵,觀察運(yùn)行是否正常。
        4.真空度調(diào)節(jié):根據(jù)需要調(diào)節(jié)泵的工作頻率或閥門開度,控制真空度。
        5.停機(jī):關(guān)閉電源,等待泵體冷卻后進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)。
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