傳感器芯體介紹

2024年08月01日 09:03:59人氣：1392來(lái)源：上海朝輝壓力儀器有限公司

　　壓阻式傳感器歷史

　　1954年，史密斯(C.S.Smith)發(fā)現(xiàn)了硅與鍺的壓阻效應(yīng)，即當(dāng)有外力作用于半導(dǎo)體材料時(shí)，其電阻將明顯發(fā)生變化。

　　1960-1970年，硅擴(kuò)散技術(shù)快速發(fā)展，技術(shù)人員在硅晶面選擇合適的晶向直接把應(yīng)變電阻擴(kuò)散在晶面上，然后在背面加工成凹形，形成較薄的硅彈性膜片，稱(chēng)為硅杯。

　　1970-1980年，硅杯擴(kuò)散理論的基礎(chǔ)上應(yīng)用了硅的各向異性的腐蝕技術(shù)，擴(kuò)散硅傳感器其加工工藝以硅的各項(xiàng)異性腐蝕技術(shù)為主，發(fā)展成為可以自動(dòng)控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術(shù)

　　隨著技術(shù)的發(fā)展，現(xiàn)在可以通過(guò)微機(jī)械加工工藝制作由計(jì)算機(jī)控制加工出結(jié)構(gòu)型的壓力傳感器，其線度可以控制在微米級(jí)范圍內(nèi)。利用這一技術(shù)可以加工、蝕刻微米級(jí)的溝、條、膜，使得壓力傳感器進(jìn)入了微米階段。

　　壓阻式傳感器原理

　　圖是基本的惠斯通電橋，圖中電橋輸出Vo是Vo+和Vo-之間的差分電壓。使用傳感器時(shí)，隨著壓力的變化，根據(jù)壓阻效應(yīng)，一個(gè)或多個(gè)電阻的阻值會(huì)發(fā)生改變。阻值的改變會(huì)引起輸出電壓的變化。

激勵(lì)電源一般為恒流源或者恒壓源

　　上海朝輝擁有25年傳感器核心技術(shù)的研發(fā)與生產(chǎn)，為中國(guó)、美國(guó)、中東、意大利等國(guó)家的傳感器提供差壓芯體、擴(kuò)散硅芯體、微熔芯體等核心部件，并與客戶(hù)共同分享行業(yè)應(yīng)用的經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù)，在技術(shù)與價(jià)格上具備較高競(jìng)爭(zhēng)力。

　　單晶硅芯體：

　　熔融的單質(zhì)硅凝固時(shí),硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核，如果這些晶核長(zhǎng)成晶面取向相同的晶粒，則形成單晶硅。由于其內(nèi)部結(jié)構(gòu)的均勻性，單晶硅在力學(xué)、光學(xué)和熱學(xué)性能上表現(xiàn)優(yōu)越。zhyq單晶硅壓力芯體具有精度高、穩(wěn)定性好等特點(diǎn)

　　擴(kuò)散硅芯體：

　　傳統(tǒng)的的硅半導(dǎo)體材質(zhì)，在多晶硅上使用微機(jī)械加工技術(shù)雕刻而成。技術(shù)成熟，工藝穩(wěn)定，在精度上無(wú)法無(wú)單晶硅媲美，但是在成本、通用性、以及性?xún)r(jià)比上具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。

　　玻璃微熔芯體：

　　美國(guó)加州理工學(xué)院在1965年研發(fā)的新型技術(shù)，腔體背面由高溫玻璃粉燒結(jié)17-4PH低碳鋼，腔體由17-4PH不銹鋼翻出，適用于高壓過(guò)載，能有效抵抗瞬間壓力沖擊。含有少量雜質(zhì)的流體介質(zhì)，無(wú)需充油和隔離膜片即可測(cè)量;不銹鋼結(jié)構(gòu)，無(wú)“O”型密封圈，無(wú)溫度釋放隱患。它可以在高壓下測(cè)量600MPa(6000bar)，最高精度為0.075%。

　　但是玻璃微熔傳感器小量程的測(cè)量比較困難，一般測(cè)量范圍在500kPa以上。

　　基于MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)的壓力傳感器是由微/納惠斯通電橋制成的硅應(yīng)變計(jì)。具有輸出靈敏度高、性能穩(wěn)定、批量可靠、重復(fù)性好的優(yōu)點(diǎn)。

　　上海朝輝壓力儀器有限公司——集研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售為一體化的綜合性高新科技企業(yè)。感謝您的關(guān)注和支持，歡迎聯(lián)系咨詢(xún)更多產(chǎn)品詳情。

關(guān)鍵詞：壓力傳感器壓力儀器

上一篇：功能材料測(cè)試系統(tǒng)在行業(yè)中起到重要的作用

下一篇：螺桿空壓機(jī)的故障原因盤(pán)點(diǎn)

全年征稿/資訊合作 聯(lián)系郵箱：1271141964@qq.com

免責(zé)聲明

凡本網(wǎng)注明"來(lái)源：智能制造網(wǎng)"的所有作品，版權(quán)均屬于智能制造網(wǎng)，轉(zhuǎn)載請(qǐng)必須注明智能制造網(wǎng)，http://towegas.com。違反者本網(wǎng)將追究相關(guān)法律責(zé)任。
企業(yè)發(fā)布的公司新聞、技術(shù)文章、資料下載等內(nèi)容，如涉及侵權(quán)、違規(guī)遭投訴的，一律由發(fā)布企業(yè)自行承擔(dān)責(zé)任，本網(wǎng)有權(quán)刪除內(nèi)容并追溯責(zé)任。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其它來(lái)源的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)或證實(shí)其內(nèi)容的真實(shí)性，不承擔(dān)此類(lèi)作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品來(lái)源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。

国产强伦姧在线观看无码,中文字幕99久久亚洲精品,国产精品乱码在线观看,色桃花亚洲天堂视频久久,日韩精品无码观看视频免费

傳感器芯體介紹

免責(zé)聲明