1、真空度：處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用真空度表示。從真空表所讀得的數(shù)值稱真空度。真空泵選型時(shí)的極限真空度是泵抽速為零的時(shí)候所能達(dá)到的真空度，必須高于工藝生產(chǎn)要求的真空度，至少要高一個(gè)數(shù)量級(jí)，真空度數(shù)值是表示出系統(tǒng)壓強(qiáng)實(shí)際數(shù)值低于大氣壓強(qiáng)的數(shù)值，從表上表示出來的數(shù)值又稱為表壓強(qiáng)，業(yè)界也稱為極限相對(duì)壓強(qiáng)，并且設(shè)備適合在要求的工作真空度范圍內(nèi)工作。

例如：真空鍍膜要求1×10-5 mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6 mmHg。

通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。

2、極限壓強(qiáng)：壓強(qiáng)即所測(cè)內(nèi)部壓強(qiáng)比”理論真空(理論真空壓強(qiáng)值為0Pa)”高多少壓強(qiáng)。它所比較的對(duì)象為理論狀態(tài)的真空壓強(qiáng)值。

真空泵所抽的真空值比理論真空值要高。所以當(dāng)用真空表示時(shí)，數(shù)值前面無負(fù)號(hào)。

3、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)。

真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響，對(duì)于環(huán)境不允許時(shí)，可以選擇無振動(dòng)的泵或者采取減震措施。

4、準(zhǔn)確地組合真空泵。

由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，可以把多種泵組合成組合泵，互相補(bǔ)充達(dá)成抽氣目的。有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。

前級(jí)泵在主泵出口處產(chǎn)生的壓力要比主泵所排出的大排氣壓力低，前級(jí)泵應(yīng)保證能夠及時(shí)排出主泵所排出的氣體，最后，兼作預(yù)抽泵的前級(jí)泵要滿足預(yù)抽時(shí)間和預(yù)抽真空度的要求。

5、所選真空泵的價(jià)錢、運(yùn)行及維護(hù)費(fèi)用。

真空泵選型過程中，多種真空泵能同時(shí)滿足工藝需求時(shí)，要進(jìn)行成本和運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用的經(jīng)濟(jì)性分析，選用經(jīng)濟(jì)性好，運(yùn)行可靠，維修量小，使用與維修方便的真空泵。

6、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。

每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，

例如：擴(kuò)散泵為10-3 ~10-7 mmHg，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而 變化，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5×10-4~5×10-6 mmHg。

因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能 讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1×10-5 mmHg為好。

7、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。 若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋 油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。

8、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。 選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等?！?/p>

9、真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。 如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

10、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。

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