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阿真空泵是把氣體從設(shè)備內(nèi)抽吸出來,從而使設(shè)備內(nèi)的壓力低于一個大氣壓的設(shè)備。實際上,阿真空泵是一種氣體輸送機械,它把氣體從低于一個大氣壓的環(huán)境中輸送到大氣中或與大氣壓力相同的環(huán)境中。那么阿真空泵的類型有哪些呢?
一、按阿真空泵結(jié)構(gòu)分類
1、機械式。這類真空泵類似于壓縮機,屬于容積型的有往復(fù)式與回轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu),還有屬于動力式的渦輪分子泵,它們都屬于抽除式真空泵。2、噴射泵。有噴射泵與擴散泵兩種形式,還有將二者組合在一起的增壓泵,也都屬于抽除式真空泵。
3、吸著式。依靠物理或化學(xué)方法使氣體分子吸著在泵壁表面,屬于捕集式真空泵。
二、按阿真空泵的工作原理分類
1、抽除式,真空泵抽吸系統(tǒng)中的氣體,并將氣體分子排至系統(tǒng)之外。
2、捕集式。真空泵捕集系統(tǒng)中的氣體分子,直接吸附在泵工作壁面上而不排出系統(tǒng)。
三、按阿真空泵在系統(tǒng)中的工作職能分類
1、主抽氣泵。實現(xiàn)所要求壓力的主要工作泵。
2、預(yù)抽氣泵。當(dāng)主抽氣泵不能在大氣狀態(tài)直接開始抽吸時,需要預(yù)抽泵先抽至某一壓力,主抽氣泵方能進(jìn)入工作。
3、前級泵。當(dāng)主抽氣泵不能將所抽氣體直接排入大氣時,需串接前級泵排送。
4、維持泵。當(dāng)主抽氣泵完成所要求的壓力停止工作后,由于系統(tǒng)泄漏或表面蒸發(fā)等原因,壓力可能升高,因此用維持泵繼續(xù)抽吸。
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