半導(dǎo)體晶圓溫度檢測監(jiān)測 熱電偶晶圓測溫系統(tǒng) 真空腔體溫度監(jiān)控

      半導(dǎo)體行業(yè)的高速發(fā)展使得晶圓制造過程的溫度控制變得至關(guān)重要。溫度變化可能會對晶圓的性能、質(zhì)量和產(chǎn)量產(chǎn)生直接影響。為了實現(xiàn)更精確的溫度監(jiān)測和控制。

智測電子TC wafer半導(dǎo)體晶圓溫度檢測監(jiān)測，可用于記錄等離子蝕刻工藝環(huán)境對真實工藝條件下生產(chǎn)晶圓的影響。 高精度溫度傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓整體溫度監(jiān)測，這與導(dǎo)體蝕刻工藝的 CD 均勻性控制密切相關(guān)。通過測量與產(chǎn)品工藝接近條件下的溫度數(shù)據(jù)，可以幫助工藝工程師完成調(diào)整蝕刻工藝條件，驗證及匹配腔體、和PM后的驗證等工作。

產(chǎn)品優(yōu)勢

高精度：由于其直接嵌入在晶圓表面，可以實現(xiàn)對晶圓溫度的實時、精確監(jiān)測。

可靠性：傳感器材料穩(wěn)定，適應(yīng)長期運行，不易受到外界干擾。

高靈敏度：微小的溫度變化也能被傳感器準確地捕捉，確保制程的穩(wěn)定性。

即時性：傳感器的實時性能使得生產(chǎn)線上的溫度調(diào)整能夠迅速響應(yīng)，減少生產(chǎn)過程中的溫度波動。

產(chǎn)品應(yīng)用

晶圓熱處理：在晶圓加工過程中，需要對晶圓進行精確的溫度控制，以確保所需的材料性能和結(jié)構(gòu)。

晶圓降溫：晶圓從高溫狀態(tài)降溫時，需要監(jiān)測溫度變化，以避免溫度梯度引起的應(yīng)力和熱應(yīng)力。

薄膜沉積：在薄膜沉積過程中，溫度的精確控制可以影響薄膜的厚度、均勻性和質(zhì)量。

等離子體刻蝕：溫度變化可能會影響刻蝕速率和表面質(zhì)量，因此需要實時監(jiān)測和控制溫度。

半導(dǎo)體晶圓溫度檢測監(jiān)測 熱電偶晶圓測溫系統(tǒng) 真空腔體溫度監(jiān)控