上海伯東日本 Atonarp Aston Impact 高靈敏度質(zhì)譜分析儀, 基于四級桿的質(zhì)量分離, Aston 質(zhì)譜分析儀設(shè)計(jì)緊湊, 適用于氣體分析和過程氣體監(jiān)測, 滿足半導(dǎo)體工藝過程中,  沉積, 刻蝕, 光刻等氣體分析.

Aston 質(zhì)譜分析儀 CVD 清洗終點(diǎn)優(yōu)化
選擇 clean 的反應(yīng)物或者生成物, 使用 Aston 相對定量分析其中的氣體成分, 可以動態(tài)判斷 CVD 清潔過程的刻蝕終點(diǎn)的時間. 不論是氣體的節(jié)省和工藝時間的節(jié)省都可以盡可能增大產(chǎn)能.


Aston 質(zhì)譜分析儀與腔室連接

Aston Impact 高靈敏度質(zhì)譜分析儀基本參數(shù)

上海伯東代理日本 Atonarp 過程控制質(zhì)譜儀 Aston™, 通過使用分子傳感技術(shù), 提供半導(dǎo)體制程中  ALD, CVD, 蝕刻, ALE 和腔室在大批量生產(chǎn)中的氣體偵測分析, 實(shí)現(xiàn)尾氣在線監(jiān)控, 診斷, 為半導(dǎo)體過程控制提供解決方案, 提高半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)量, 吞吐量和效率, 在現(xiàn)有生產(chǎn)工藝工具上加裝 Aston, 可在短時間內(nèi)實(shí)現(xiàn)晶圓更高產(chǎn)量! 

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