高低溫探針臺晶圓測溫系統(tǒng)

隨著航空航天、汽車電子、光伏、工業(yè)自動化等許多領(lǐng)域技術(shù)的不斷發(fā)展，芯片在各種jiduan溫度環(huán)境下的應(yīng)用也越來越廣泛。在芯片的研發(fā)生產(chǎn)中，晶圓高低溫測試變得越發(fā)重要。

探針臺作為晶圓測試的關(guān)鍵設(shè)備，其工作原理是利用探針臺的探針與被測器件上的PAD點精準(zhǔn)對針，將測試機(jī)輸出激勵信號進(jìn)行互通與信號反饋，最終完成測試數(shù)據(jù)的獲取采集。在整個測試過程中，工程師們希望能以最短的時間獲取可靠的測試數(shù)據(jù)，這就需要一套專業(yè)的測量系統(tǒng)與解決方案來快速精準(zhǔn)地完成晶圓測試工作。

探針臺作為晶圓測試的關(guān)鍵設(shè)備，其工作原理是利用探針臺的探針與被測器件上的PAD點精準(zhǔn)對針，將測試機(jī)輸出激勵信號進(jìn)行互通與信號反饋，最終完成測試數(shù)據(jù)的獲取采集。在整個測試過程中，工程師們希望能以最短的時間獲取可靠的測試數(shù)據(jù)，這就需要一套專業(yè)的測量系統(tǒng)與解決方案來快速精準(zhǔn)地完成晶圓測試工作。

智測電子晶圓溫度測量系統(tǒng)，可用于記錄等離子蝕刻工藝環(huán)境對真實工藝條件下生產(chǎn)晶圓的影響。 高精度溫度傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓整體溫度監(jiān)測，這與導(dǎo)體蝕刻工藝的 CD 均勻性控制密切相關(guān)。通過測量與產(chǎn)品工藝接近條件下的溫度數(shù)據(jù)，可以幫助工藝工程師完成調(diào)整蝕刻工藝條件，驗證及匹配腔體、和PM后的驗證等工作。?