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國內某 OLED 鍍膜機廠家配置伯東美國 HVA 真空閥門 11000 系列，尺寸以 4”, 6”, 8”閥門口徑為主的標準不銹鋼氣動高真空閘閥,
HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 系列標準技術規(guī)格:
| 閥門材質: | |
| - 閥門主體 | 304 不銹鋼 |
| - 焊接波紋管軸封 | AM - 350 |
| 閥門密封方式 | |
| - 高真空 | 氟橡膠 |
| - 超高真空 | 銅墊圈 / 氟橡膠 |
| 真空: | |
| - 壓力范圍 | 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar |
| - 漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
| - 差壓關閉 | 1 bar ( 任意位置 ) |
| - 開啟前zui大壓力 | ≤ 30 mbar |
| 烘烤溫度（不含電磁閥）: | |
| - 彈性體密封閥蓋 | 150°C |
| - 金屬密封閥蓋 | -開啟溫度：200°C -關閉值：150°C |
| - 驅動方式 | 手動 60 °c, 氣動 60 °c |
| 機制 | |
| 手動： | 手搖曲柄 |
| 電磁閥供電電壓 | 120 VAC 50 /60 Hz |
| 電磁閥可選電壓 | 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
| 電磁閥位置指示器,zui大 | 115 VAC |
| 氣動送風： | 80 psig |
| 使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實際使用情況決定) | |
| 公稱通徑: DN 16 - 800 mm | |
下圖是某 OLED 鍍膜機廠家配置上海伯東美國 HVA 高真空閥門
OLED 鍍膜機主要面向有機半導體照明客戶, 需要鍍膜機性能更穩(wěn)定, 器件效率更高, 性價比高,
對于生產(chǎn) OLED 鍍膜機的客戶, 為了節(jié)省抽空時間和防止基片的污染, 會選擇在 LOADLOCK 與主腔間進行快速傳樣, 由于兩腔室工作的真空度要求不同, 會在腔室之間增加高真空閥門來隔離系統(tǒng).
伯東美國 HVA 真空閥門已廣泛應用于 OLED 鍍膜機
若您需要進一步的了解詳細產(chǎn)品信息或討論 , 請參考以下聯(lián)絡方式 :
上海伯東 : 羅先生
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2025第十一屆中國國際機電產(chǎn)品交易會 暨先進制造業(yè)博覽會
展會城市：合肥市展會時間：2025-09-20