使用電磁原理的傳感器統(tǒng)稱為電磁壓力傳感器，并且主要包括電感式壓力傳感器、霍爾壓力傳感器、渦流壓力傳感器等。下文將詳細(xì)介紹下這三種電磁壓力傳感器。

常見的電磁壓力傳感器有哪些？

1、引導(dǎo)香港專業(yè)教育學(xué)院壓力傳感器

電感式壓力傳感器的工作原理是由于磁性材料和磁導(dǎo)率的差異。當(dāng)壓力作用在膜片上時，氣隙的大小發(fā)生變化。那么氣隙的變化影響線圈電感的變化。處理電路可以轉(zhuǎn)換電感的變化。相應(yīng)的信號輸出，從而達(dá)到測量壓力的目的。壓力傳感器按磁路變化可分為變磁阻式和變磁導(dǎo)率式兩種。電感式壓力傳感器具有靈敏度高、測量范圍大的優(yōu)點(diǎn)；缺點(diǎn)是不能應(yīng)用于高頻動態(tài)環(huán)境。

可變磁阻壓力傳感器的主要部件是鐵芯和膜片。它們之間有氣隙，形成磁路。當(dāng)有壓力時，氣隙的大小發(fā)生變化，即磁阻發(fā)生變化。如果給磁心線圈施加一定的電壓，電流會隨著氣隙的變化而變化，從而測得壓力。

在磁通密度高的情況下，鐵磁材料的磁導(dǎo)率不穩(wěn)定，并且在這種情況下，可變磁導(dǎo)率磁壓力傳感器可以用于測量。變磁導(dǎo)率壓力傳感器用可移動的磁性元件代替磁芯，壓力的變化引起磁性元件的移動，使磁導(dǎo)率發(fā)生變化，從而得到壓力值。

2、霍爾壓力傳感器

霍爾壓力傳感器基于某些半導(dǎo)體材料的霍爾效應(yīng)。霍爾效應(yīng)是指將固體導(dǎo)體置于磁場中，通電流時，導(dǎo)體中的電荷載流子被洛倫茲力偏壓向一側(cè)，進(jìn)而產(chǎn)生電壓(霍爾電壓)的現(xiàn)象。電壓引起的電場力會平衡洛倫茲力。通過霍爾電壓的極性，可以確認(rèn)導(dǎo)體內(nèi)部的電流是由帶負(fù)電的粒子(自由電子)的運(yùn)動引起的。

在導(dǎo)體上施加垂直于電流方向的磁場，使導(dǎo)線中的電子受到洛侖茲力的集中，從而在電子集中的方向產(chǎn)生電場，這將使后面的電子受到電的作用而平衡。磁場產(chǎn)生的洛倫茲力使后續(xù)的電子順利通過，沒有偏移，這就是所謂的霍爾效應(yīng)。產(chǎn)生的內(nèi)置電壓稱為霍爾電壓。

當(dāng)磁場是交變磁場時，霍爾電動勢也是同頻率的交變電動勢，建立霍爾電動勢的時間極短，所以響應(yīng)頻率高。常用霍爾元件的材料多為半導(dǎo)體，包括N型硅(Si)、銻化銦(InSb)、砷化銦(InAs)、鍺(Ge)、砷化鎵(GaAs)、多層半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)材料等。

3、渦流壓力傳感器

基于渦流效應(yīng)，移動磁場與金屬導(dǎo)體相交，或者由移動金屬導(dǎo)體和磁場的垂直相交形成。簡而言之，就是電磁感應(yīng)造成的。這個動作產(chǎn)生了在導(dǎo)體內(nèi)循環(huán)的電流。渦流特性使得渦流檢測具有零頻響等特性，因此渦流壓力傳感器可用于靜態(tài)力檢測。