壓阻式壓力傳感器與單晶傳感器靈敏度的優(yōu)勢對比

2022年08月03日 18:24:57人氣：174來源：深圳市藤倉自動化有限公司

　　對壓阻式壓力傳感器使用新的信號處理技術的半導體元件能夠?qū)藴收`差參數(shù)進行精確、自動和低成本的電子補償。由此產(chǎn)生的簡化和便利性開辟了廣闊的新應用領域，包括將橋式傳感器用于壓力以外的特性。由于大多數(shù)控制系統(tǒng)使用電信號進行操作，因此在進一步處理或分析之前，必須將壓力或力轉(zhuǎn)換為電流或電壓。

　　電容和電阻信號傳感器通常用于此目的。電容式傳感器將壓力檢測為與兩個(或更多)隔膜之間的距離相關的電容，該距離隨壓力的變化而變化。為了提供有用的輸出，這種電容變化通常表示為交流信號的衰減或諧振電路中的頻移。在電阻式傳感器中，壓力通過使傳感器機械變形來改變電阻，例如，使橋式電路中的電阻器能夠?qū)毫z測為跨過橋的比例差分電壓。

　　傳統(tǒng)的電阻式壓力測量設備包括薄膜電阻器、應變儀、金屬合金和多晶半導體。近年來，單晶硅壓力傳感器得到廣泛應用。雖然采用半導體技術制造，但它們也根據(jù)電阻原理運行。單晶半導體中的電阻變化(壓電效應)明顯高于標準應變儀中的電阻變化，標準應變儀的電阻隨結構的幾何變化而變化。摻雜半導體的電導率受極小的機械變形所產(chǎn)生的變化(晶體網(wǎng)格的壓縮或拉伸)的影響。因此，單晶傳感器的靈敏度高于大多數(shù)其他類型的傳感器。

　　具體優(yōu)點是：

　　1.高靈敏度，>10mV/V

　　2.在恒定溫度下具有良好的線性度

　　3.能夠在沒有信號滯后的情況下跟蹤壓力變化，達到破壞性極限

　　缺點是：

　　1.滿量程信號對溫度的強非線性依賴性(高達1%/開爾文)

　　2.大的初始偏移(高達滿量程的99%或更多)

　　3.偏移隨溫度的強烈漂移

　　在一定限度內(nèi)，這些缺點可以用電子電路來彌補。

關鍵詞：壓阻式壓力傳感器控制系統(tǒng)電容式傳感器電阻器力測量

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