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電容式傳感器可以根據(jù)其性能和預(yù)期用途分為兩類。高分辨率傳感器通常用于需要高精度、穩(wěn)定性和低溫漂的位移和位置監(jiān)測應(yīng)用。這些傳感器經(jīng)常用于過程監(jiān)控和閉環(huán)反饋控制系統(tǒng)。接近式電容傳感器價格便宜得多，通常用于檢測零件的存在或用于計數(shù)應(yīng)用。
應(yīng)用
1、位置感應(yīng)
一般定位可能是電容傳感器見的應(yīng)用。如前所述，電容傳感器的輸出與到目標(biāo)的距離成正比。如果探頭保持靜止，則放大器檢測到的任何電容變化都與目標(biāo)位置直接相關(guān)。它們的高線性響應(yīng)和低輸出相移使其非常適合應(yīng)用于靜態(tài)和主動反饋定位應(yīng)用。
其他典型的位置應(yīng)用包括：
·顯微鏡聚焦
·鏡頭對準(zhǔn)
·零件輪廓
·應(yīng)力分析
2、動態(tài)測量
非接觸式傳感器非常適合測量移動目標(biāo)，因為它們具有高頻響應(yīng)并且不會通過增加質(zhì)量來抑制目標(biāo)運動。典型的電容傳感系統(tǒng)的帶寬超過20 kHz，非常適合高速應(yīng)用，例如：
·主軸跳動分析
·壓電反饋定位
·超聲波喇叭振動
·應(yīng)力分析
3、厚度測量
厚度質(zhì)量控制監(jiān)測在制造過程中在線應(yīng)用，而不是在產(chǎn)品制造后進行定期抽樣。通過這種方式，可以“即時”進行流程調(diào)整，減少或消除不符合規(guī)格的產(chǎn)品的生產(chǎn)。在某些應(yīng)用中，可以使用接觸方法，但是它們速度慢，會損壞產(chǎn)品并且容易磨損。非接觸式傳感器通常用于這些應(yīng)用。
典型應(yīng)用由兩個電容探頭組成，一個位于被測材料的兩側(cè)。每個傳感器輸出之間的差異與被測材料的厚度直接相關(guān)。通過進行差分測量，可以消除探針間隙內(nèi)材料的任何位置移動。
使用電容探頭的典型厚度測量
這是典型的厚度設(shè)置，A和B代表傳感器輸出。探針之間的間隙G等于A+B+T。如果將已知厚度T的初始樣品放置在間隙內(nèi)，則可以確定G并將其用于將來的計算。由于厚度=G–(A+B)，并且G是常數(shù)，因此可以通過簡單地減去兩個輸出來計算厚度。
如果被測材料的背面可以參考某個固定平面，也可以使用電容傳感器成功進行單面厚度測量。產(chǎn)品厚度與探頭與材料表面之間的間隙成正比。
典型的厚度應(yīng)用包括：
·半導(dǎo)體晶圓
·計算機磁盤驅(qū)動器磁盤
·剎車盤
·鈑金
·光伏晶片
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