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三坐標(biāo)即三坐標(biāo)測量機(jī),它是指在三維可測的空間范圍內(nèi),能夠根據(jù)測頭系統(tǒng)返回的點(diǎn)數(shù)據(jù),通過三坐標(biāo)的軟件系統(tǒng)計算各類幾何形狀、尺寸等測量能力的儀器,又稱為三次元、三坐標(biāo)測量機(jī)、三坐標(biāo)測量儀。
三坐標(biāo)測量儀可定義為一種具有可作三個方向移動的探測器,可在三個相互垂直的導(dǎo)軌上移動,此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號,三個軸的位移測量系統(tǒng)(如光學(xué)尺)經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計算機(jī)等計算出工件的各點(diǎn)坐標(biāo)(X、Y、Z)及各項(xiàng)功能測量的儀器。
如何減少三坐標(biāo)測量誤差?三坐標(biāo)直接用激光干涉儀等測量單項(xiàng)原始誤差,能以較高的精度檢測到這些誤差值。不足之處,是激光干涉儀價格昂貴、對環(huán)境條件要求高、對操作者的技術(shù)水平的要求也較高。
三坐標(biāo)測量儀誤差檢測方法可以分成兩大類:一類是用激光干涉儀等儀器檢測三坐標(biāo)測量機(jī)的各個單項(xiàng)原始誤差;另一類是用球列、球板等實(shí)物基準(zhǔn)檢測檢測三坐標(biāo)測量機(jī)的綜合誤差,然后分解出原始誤差。
在分解各項(xiàng)原始誤差時,一項(xiàng)重要基礎(chǔ)是三坐標(biāo)測量機(jī)本身有很好的重復(fù)性。球列、球板等實(shí)物基準(zhǔn)需通過激光干涉儀進(jìn)行檢定,對球板本身的穩(wěn)定性有較高要求。在由綜合誤差分解為單項(xiàng)誤差時,難免有交叉影響,分解得到的原始誤差的不確定度比用激光干涉儀等直接測量要大。再則,一般步距或球間距不易做得很小,不像激光干涉儀可對三坐標(biāo)測量儀的各項(xiàng)誤差進(jìn)行連續(xù)檢測?!?/div>
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