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      微電子及微電子學(xué)概述

      2009年11月13日 10:36:30人氣:772來源:

           微電子技術(shù)是隨著集成電路,尤其是超大規(guī)模集成電路而發(fā)展起來的一門新的技術(shù)。微電子技術(shù)包括系統(tǒng)電路設(shè)計、器件物理、工藝技術(shù)、材料制備、自動測試以及封裝、組裝等一系列專門的技術(shù),微電子技術(shù)是微電子學(xué)中的各項工藝技術(shù)的總和。微電子技術(shù)是在電子電路和系統(tǒng)的超小型化和微型化過程中逐漸形成和發(fā)展起來的,第二次大戰(zhàn)中、后期,由于軍事需要對電子設(shè)備提出了不少具有根本意義的設(shè)想,并研究出一些有用的技術(shù)。1947年晶體管的發(fā)明,后來又結(jié)合印刷電路組裝使電子電路在小型化的方面前進(jìn)了一大步。到1958年前后已研究成功以這種組件為基礎(chǔ)的混合組件。集成電路的主要工藝技術(shù),是在50年代后半期硅平面晶體管技術(shù)和更早的金屬真空涂膜技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。1964年出現(xiàn)了磁雙極型集成電路產(chǎn)品。1962年生產(chǎn)出晶體管——晶體管邏輯電路和發(fā)射極耦合邏輯電路。MOS集成電路出現(xiàn)。由于MOS電路在高度集成方面的優(yōu)點和集成電路對電子技術(shù)的影響,集成電路發(fā)展越來越快。70年代,微電子技術(shù)進(jìn)入了以大規(guī)模集成電路為中心的新階段。隨著集成密度日益提高,集成電路正向集成系統(tǒng)發(fā)展,電路的設(shè)計也日益復(fù)雜、費(fèi)時和昂貴。實際上如果沒有計算機(jī)的輔助,較復(fù)雜的大規(guī)模集成電路的設(shè)計是不可能的。70年代以來,集成電路利用計算機(jī)的設(shè)計有很大的進(jìn)展。制版的計算機(jī)輔助設(shè)計、器件模擬、電路模擬、邏輯模擬、布局布線的計算輔助設(shè)計等程序,都先后研究成功,并發(fā)展成為包括校核、優(yōu)化等算法在內(nèi)的混合計算機(jī)輔助設(shè)計,乃至整套設(shè)備的計算機(jī)輔助設(shè)計系統(tǒng)。集成電路制造的計算機(jī)管理,也已開始實現(xiàn)。此外,與大規(guī)模集成和超大規(guī)模集成的高速發(fā)展相適應(yīng),有關(guān)的器件材料科學(xué)和技術(shù)、測試科學(xué)和計算機(jī)輔助測試、封裝技術(shù)和超凈室技術(shù)等都有重大的進(jìn)展。電子技術(shù)發(fā)展很快,在工藝技術(shù)上,微細(xì)加工技術(shù),如電子束、離子束、X射線等復(fù)印技術(shù)和干法刻蝕技術(shù)日益完善,使生產(chǎn)上達(dá)到亞微米以至更高的光刻水平,集成電路的集成度超大型約每片10^6—10^7個元件,以至達(dá)到全圖片上集成一個復(fù)雜的微電子系統(tǒng)。高質(zhì)量的超薄氧化層、新的離子注入退火技術(shù)、高電導(dǎo)高熔點金屬以及硅化物金屬化和淺歐姆結(jié)等一系列工藝技術(shù)正獲得進(jìn)一步的發(fā)展。在微電子技術(shù)的設(shè)計和測試技術(shù)方面,隨著集成度和集成系統(tǒng)復(fù)雜性的提高,冗余技術(shù)、容錯技術(shù),將在設(shè)計技術(shù)中得到廣泛應(yīng)用。微電子的基本工藝包括PHOTODOPINGETCHINGCMP等,0.18um0.22um90納米工藝等。

          微電子學(xué)是研究在固體(主要是半導(dǎo)體)材料上構(gòu)成的微小型化電路、電路及系統(tǒng)的電子學(xué)分支。

          作為電子學(xué)的分支學(xué)科,它主要研究電子或離子在固體材料中的運(yùn)動規(guī)律及其應(yīng)用,并利用它實現(xiàn)信號處理功能的科學(xué),以實現(xiàn)電路的系統(tǒng)和集成為目的,實用性強(qiáng)。微電子學(xué)又是信息領(lǐng)域的重要基礎(chǔ)學(xué)科,在這一領(lǐng)域上,微電子學(xué)是研究并實現(xiàn)信息獲取、傳輸、存儲、處理和輸出的科學(xué),是研究信息獲取的科學(xué),構(gòu)成了信息科學(xué)的基石,其發(fā)展水平直接影響著整個信息技術(shù)的發(fā)展。微電子科學(xué)技術(shù)的發(fā)展水平和產(chǎn)業(yè)規(guī)模是一個國家經(jīng)濟(jì)實力的重要標(biāo)志。

          微電子學(xué)是一門綜合性很強(qiáng)的邊緣學(xué)科,其中包括了半導(dǎo)體器件物理、集成電路工藝和集成電路及系統(tǒng)的設(shè)計、測試等多方面的內(nèi)容;涉及了固體物理學(xué)、量子力學(xué)、熱力學(xué)與統(tǒng)計物理學(xué)、材料科學(xué)、電子線路、信號處理、計算機(jī)輔助設(shè)計、測試和加工、圖論、化學(xué)等多個領(lǐng)域。

          微電子學(xué)是一門發(fā)展極為迅速的學(xué)科,高集成度、低功耗、高性能、高可靠性是微電子學(xué)發(fā)展的方向。
      信息技術(shù)發(fā)展的方向是多媒體(智能化)、網(wǎng)絡(luò)化和個體化。要求系統(tǒng)獲取和存儲海量的多媒體信息、以*速度可靠的處理和傳輸這些信息并及時地把有用信息顯示出來或用于控制。所有這些都只能依賴于微電子技術(shù)的支撐才能成為現(xiàn)實。超高容量、超小型、超高速、超高頻、超低功耗是信息技術(shù)無止境追求的目標(biāo),是微電子技術(shù)迅速發(fā)展的動力。

          微電子學(xué)滲透性強(qiáng),其他學(xué)科結(jié)合產(chǎn)生出了一系列新的交叉學(xué)科。微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、生物芯片就是這方面的代表,是近年來發(fā)展起來的具有廣闊應(yīng)用前景的新技術(shù)。

      關(guān)鍵詞:晶體管
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