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      橫河電機(jī)硅膜片諧振式差壓變送器工作原理

      2013年12月09日 09:42:37人氣:1932來源:深圳市華倫康盛科技有限公司

      橫河電機(jī)硅膜片諧振式差壓變送器工作原理

      位于高壓端和低壓端的金屬膜片受到過程壓力,通過密封液分別傳送到單晶硅片的上下兩面。在單晶硅片中,有2個振子腔體,2個振子的固有頻率之差就是差壓信號。

      真空腔體中的振子是經(jīng)過精細(xì)加工的(H型諧振梁的長約700μm,寬約25μm,厚約5μm)。由于振子H型諧振梁的4端與單晶硅連接,所以當(dāng)單晶硅變形時,振子振動頻率與壓力差成正比例,固有振動頻率發(fā)生變化。

      通過永磁體給振子一個磁場,振子的半片和剩余的半片構(gòu)成一個勵磁電路,測量出該電路的固有頻率,將該固有頻率與另一個振子的固有頻率之差轉(zhuǎn)換成差壓信號。將差壓信號轉(zhuǎn)換成4-20mA、脈沖或數(shù)字信號輸出。

       





      單晶硅諧振式差壓變送器原理
       
      為什么使用硅傳感器能夠測量差壓?
      硅傳感器是在單晶硅片上微加工兩個H型振子的裝置。如下圖所示,由壓力膜片通過密封液給硅膜片壓力,當(dāng)單晶硅片受到該壓力時會因差壓而變形,H型振子一個受到壓力,另一個受到拉力。

       


       
      這個拉力會使H型振子的固有頻率發(fā)生變化,能夠通過兩個振子的頻率差檢測出差壓,因此,硅傳感器具有靈敏度高,化學(xué)及物理特性長期穩(wěn)定的特點,是性能優(yōu)良的差壓變送器檢測部分。
      關(guān)鍵詞:差壓變送器變送器
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