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橫河電機(jī)硅膜片諧振式差壓變送器工作原理
位于高壓端和低壓端的金屬膜片受到過程壓力，通過密封液分別傳送到單晶硅片的上下兩面。在單晶硅片中，有2個振子腔體，2個振子的固有頻率之差就是差壓信號。
真空腔體中的振子是經(jīng)過精細(xì)加工的（H型諧振梁的長約700μm，寬約25μm，厚約5μm）。由于振子H型諧振梁的4端與單晶硅連接，所以當(dāng)單晶硅變形時，振子振動頻率與壓力差成正比例，固有振動頻率發(fā)生變化。
通過永磁體給振子一個磁場，振子的半片和剩余的半片構(gòu)成一個勵磁電路，測量出該電路的固有頻率，將該固有頻率與另一個振子的固有頻率之差轉(zhuǎn)換成差壓信號。將差壓信號轉(zhuǎn)換成4-20mA、脈沖或數(shù)字信號輸出。
單晶硅諧振式差壓變送器原理
為什么使用硅傳感器能夠測量差壓？
硅傳感器是在單晶硅片上微加工兩個H型振子的裝置。如下圖所示，由壓力膜片通過密封液給硅膜片壓力，當(dāng)單晶硅片受到該壓力時會因差壓而變形，H型振子一個受到壓力，另一個受到拉力。
這個拉力會使H型振子的固有頻率發(fā)生變化，能夠通過兩個振子的頻率差檢測出差壓，因此，硅傳感器具有靈敏度高，化學(xué)及物理特性長期穩(wěn)定的特點，是性能優(yōu)良的差壓變送器檢測部分。
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2025第十一屆中國國際機(jī)電產(chǎn)品交易會 暨先進(jìn)制造業(yè)博覽會
展會城市：合肥市展會時間：2025-09-20